Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS Versaline #293817395 zu verkaufen

PLASMATHERM/UNAXIS Versaline ist ein Ätzer/Ascher zum Trockenätzen durch Plasmaätzen. Es ist zum Ätzen und den ashing Substraten für verschiedene Halbleitergerätverarbeitungsanwendungen fähig. Diese Ausrüstung ist auf die Luft- und Raumfahrt- und Automobilelektronikindustrie zugeschnitten und ist ein leistungsstarkes Trockenätzwerkzeug für komplexe 3D-Merkmale verschiedener Größengeometrien. Es bietet präzise Strukturierung, überlegene Gleichmäßigkeit und erhöhten Durchsatz, indem es seine vielseitige Plasmaquelle verwendet, um optimale Ätzergebnisse zu gewährleisten. UNAXIS Versaline verfügt über eine 5,9-Zoll-weite mehrstufige Plasmaquelle, die eine präzise Steuerung des Ätzprozesses ermöglicht, die eine präzise Nanomusterung sowie eine hohe Seitenverhältnisätzung ermöglicht. Die Plasmaquelle verwendet Argon als Ätzgas, das sowohl O2 als auch CF4 Plasmaätzen ermöglicht. Dies ermöglicht das Ätzen unterschiedlicher Materialarten mit unterschiedlichen Ätzraten. Darüber hinaus bietet die fortschrittliche Roboterarm-Technologie von PLASMATHERM Versaline in Kombination mit der automatischen Be-/Entladeausrüstung eine automatisierte Produktionslösung und eliminiert viele manuelle Prozesse, was den Durchsatz und die Gesamtsystemproduktivität erhöht. Versaline verfügt über eine integrierte Reinigungseinheit, die sowohl eine desionisierte Wasserspülung als auch eine Dry-Off-Technik verwendet, um sicherzustellen, dass die Substratoberflächen nach dem Ätzvorgang sauber sind. Zusätzlich weist es ein Oberflächenbehandlungskühlmodul zur Unterstützung des Aschevorgangs auf. Die Überwachungsmaschine von PLASMATHERM/UNAXIS Versaline verfügt über ein fortschrittliches Datenerfassungswerkzeug zur Echtzeitüberwachung und Analyse der Ätz- und Ascheprozesse, um optimale Ergebnisse zu gewährleisten. Dieses Asset umfasst eine grafische Benutzeroberfläche, die eine einfache Bedienung ermöglicht, sowie eine hochauflösende Kamera mit Bewegungssteuerung, um den Prozess beim Ätzen und Aschen zu überwachen. UNAXIS Versaline verfügt über ein robustes Sicherheitsmodell, um einen ordnungsgemäßen Betrieb zu gewährleisten. Dieses Gerät umfasst Notstopps, Auslassventile, optische und elektrische Sicherheitssensoren sowie eine Alarm- und Zustandsanzeige. Darüber hinaus ist das System mit einer Reduzierung der Emissionssteuereinheit ausgestattet, die unerwünschte Gase aus der Maschine ableitet, um eine saubere Arbeitsumgebung zu gewährleisten. PLASMATHERM Versaline ist ein leistungsstarker und flexibler Ätzer/Ascher ideal für die Mikroelektronikindustrie. Es kann durch seine fortschrittliche Plasmaquelle und sein automatisiertes Ladewerkzeug hervorragende Ergebnisse liefern und seine integrierte Sicherheitseinrichtung sorgt dafür, dass der Ätzprozess auf sichere Weise durchgeführt wird. Es eignet sich perfekt für Anwendungen, die komplexe 3D-Funktionen oder nanoskalige Funktionen erfordern und einen verbesserten Durchsatz und Einheitlichkeit bieten.