Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS Versaline #293826125 zu verkaufen
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ID: 293826125
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2005
ICP Etcher, 6"
Cassette type: Loadlock and transfer chamber, 6"
ESC Chuck type: Process chamber, 6"
RF Generator module
EDWARDS STP-A1303CV Turbo pump
SKM SKMCS-30W Chiller
ENI NOVA-50 RF Generator
COMDEL DBS RF Generator
EMS 04500-011 Robot
Throttle / Gate valve: NC TPV / IPV Valve inspection
Process chamber: Vesaline DSE Process
Monitor
MKS Gases: C4F8, SF6, Ar, O2, N2
2005 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS Versaline ist ein führender Ätzer/Ascher für eine Reihe von Anwendungen, einschließlich Halbleiterverarbeitung, MEMS-Bauelementherstellung, photonische Bauelementherstellung und andere Dünnschichtabscheidungsprozesse. UNAXIS Versaline bietet hochwertige Ätz- und Ascheprozesse mit hervorragender Wiederholbarkeit und enger Größenkontrolle. Dieses Gerät verwendet die neuesten MEMS-Fertigungstechnologien, um überlegene Einheitlichkeit und Massenproduktionsbereitschaft zu gewährleisten. Unter Verwendung der proprietären Plasmatechnologie bietet UNAXIS und PLASMATHERM Versaline überlegene Gleichmäßigkeit und Kontrolle, was zu einer verkürzten Substratverarbeitungszeit und verbesserten Gerätespezifikationen führt. Der Ascher/Ätzer bietet eine hohe Durchsatzleistung, saubere und kostengünstige Lösung auf kleiner Fläche. Mit einem geschlossenen Kammerdesign und einem geringen Betriebslärm bietet Versaline eine benutzerfreundliche und platzsparende Plattform. Es ist auch mit Sicherheitsanforderungen Dritter zertifiziert, so dass es sehr zuverlässig und sicher zu bedienen. In puncto Skalierbarkeit ist PLASMATHERM/UNAXIS Versaline mit einer Leistung von bis zu 150w HF Leistung und 500mm2 Bearbeitungsfläche ausgelegt. Mit einem 4-Korb-Design ermöglicht das System flexible Konfigurationen für Chargen- und Einzelsubstratprozesse. Darüber hinaus wird das Gerät durch eine Reihe von adaptiven Funktionen wie optionale automatisierte Lastschließfächer, Substratausrichtungsrover und Echtzeit-Überwachungs- und Steuerungssysteme erweitert, so dass Bediener jederzeit eine gleichbleibende Produktqualität aufrechterhalten können. UNAXIS Versaline Ätzer/Asher ist auch eine hochgradig anpassbare Maschine, die eine einfache Integration in bestehende Prozessinfrastruktur ermöglicht. Das Tool integriert sich in eine Vielzahl von Prozessmodulen, um einen effizienten, automatisierten Workflow mit minimaler manueller Programmierung zu ermöglichen und so Asset Performance und Durchsatz zu maximieren. Der Ätzer/Ascher wird auch durch eine breite Palette von Zubehör unterstützt, einschließlich fortschrittlicher Reinigungskomponenten, Transportperipheriegeräte und HF-passende Einheiten, so dass das Modell jeden spezifischen Ätzbedarf erfüllen kann. Insgesamt ist PLASMATHERM Versaline Ätzer/Ascher eine ideale Wahl für eine Reihe von Ätz- und Ascheprozessen, da es überlegene Leistung, Haltbarkeit, Skalierbarkeit und Flexibilität bietet, um Anwendern die zuverlässigen, wiederholbaren und kostengünstigen Ergebnisse zu bieten, die sie benötigen.
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