Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS Versaline #9311006 zu verkaufen
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ID: 9311006
Wafergröße: 4"
Weinlese: 2003
ICP Etcher, 4"
Loadlock
PM1 Chamber
Wafers type: Ceramic mechanical clamp
MX-400 Sidewinder wafer hander
SpectraWorks Optical endpointer
Gases: CF4, O2, N2, Ar, He, Cl2, BCl3, HBr
Heater:
JULABO Thermal H5S
JULABO Thermal H20S
Removed parts:
Turbo pump and turbo controller
Heat wrap for turbo
Roughing and backing pumps
RF Cables
Non-functional parts:
Wafer handler
BERKELEY 8-Axis controller
2003 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS Versaline ist eine hochmoderne Ätzer/Ascher-Technologie, die entwickelt wurde, um hohe Ausbeute und überlegene Oberflächenqualität für eine Vielzahl von Materialien in der Mikroelektronik-Industrie zu erzeugen. Dieser Hightech-Ätzer/Ascher verwendet ein bewährtes Plasma-basiertes Verfahren, das Ätz- und Ascheoperationen mit Präzision für alle Materialien, einschließlich schwer verarbeitbarer Metalle, durchführen kann. Zu den Hauptmerkmalen gehören eine hohe Produktionsrate, niedrige Betriebskosten, Vielseitigkeit und schnelle Zykluszeiten für Ätz- und Aschebewegungen. UNAXIS Versaline nutzt Hochfrequenzleistung, um Hochtemperaturplasma zu erzeugen. Diese Wärmeenergie wird in kinetische Energie umgewandelt, mit der die Ätz- und Ascheprozesse angetrieben werden. Diese Technik ermöglicht PLASMATHERM Versaline, das Ätzen und Aschen auf ein viel höheres Maß an Genauigkeit und Präzision zu bringen. Versaline Ätzer/Ascher verwendet zudem eine einzigartige verbesserte Plasmatechnologie, die eine präzise Temperaturregelung und eine gleichmäßige Verteilung des Plasmas in das Prozessgas ermöglicht. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Verarbeitung des Materials ohne Verlust von Kammern oder Materialien. PLASMATHERM/UNAXIS Versaline ist für eine einfache Wartung konzipiert und umfasst eine Reihe von Reinigungs- und Prozessüberwachungsfunktionen. Es verfügt außerdem über ein vereinfachtes Kontrollsystem, das die Gesamtbetriebskosten senkt. Darüber hinaus verfügt das UNAXIS Versaline-System über eine Niederdruck-Hochleistungs-Ätzkammer mit einem abgedichteten Deckel für mehr Sicherheit und einen kostengünstigen Plasmabrenner, der die Betriebskosten reduziert. PLASMATHERM Versaline ist in der Lage, verschiedene Größen und Arten von Materialien zu handhaben. Es verwendet eine Kombination aus Plasma- und Magnetfeldquellen, um hochauflösende Oberflächenätzungen zu erzielen. Versaline kann in einer Vielzahl von Winkeln geätzt werden, von geradseitigen bis zu abgewinkelten oder gekrümmten Flächen. Dies ermöglicht eine große Flexibilität beim Ätzen verschiedener Formen und Größen von Materialien. Darüber hinaus kann PLASMATHERM/UNAXIS Versaline Schichten von Materialien laminieren, um mehrschichtige Strukturen zu schaffen, die Präzisionsprozesse mit feinen Toleranzen ermöglichen. UNAXIS Versaline System ist ideal für die Herstellung von Batch-Size-Prozessen mit präzisen Ergebnissen. Es eignet sich gut für hochdichte Baugruppen, wie z. B. in Mobiltelefonen, hochauflösenden Fernsehanzeigen und anderen anspruchsvollen elektronischen Produkten. Dieser hochzuverlässige Ätzer/Ascher eignet sich für verschiedenste Fertigungsprozesse und bietet eine verbesserte Produktivität für kleine und große Produktionsabläufe. PLASMATHERM Versaline eignet sich aufgrund seiner schnellen Zykluszeiten und der hervorragenden Prozesskontrolle auch für Rapid Prototyping-Anwendungen.
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