Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS Versalock 700 #9311007 zu verkaufen
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ID: 9311007
Wafergröße: 4"
Weinlese: 2000
PECVD System, 4"
(2) Process chamber
Load lock
Wafer handler
PM1:
For HDCVD
Gases: SiH4, N2, NH3, N2, O2, Ar, SF6
Wafer type: Mechanically clamped wafers
PM2:
For PECVD
Gases: SiH4, N2O, NH3, N2, CH4, He, SF6
Wafer type: Electrostatic chuck
Removed parts:
PM1:
Roots blower package
Gas box exhaust switch
NESLAB Chiller
Vacuum tees
He MFC for wafer backside
ENI (Bias) RF Generator
ICP RF Match network
RF Cables
Match position controllers
PM2:
Roots blower package
Air regulator assembly
Gas box exhaust switch
NESLAB Chiller
PM7 Controller
RF5S RF Generator
Waterflow sensor
RF Feedthrough
N2O MFC (PM2)
RF Cables
Match position controllers
Missing parts:
Capacitor housing for ICP
BROOKS AUTOMATION Robot for wafer handler
2000 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS Versalock 700 ist ein Ätzer und Ascher für präzise und hochfrequente Ätzanwendungen. Es wurde entwickelt, um Anwendern überlegene Qualität, Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu bieten. UNAXIS Versalock 700 ist eine industrielle Ätz- und Aschereinrichtung, die schnelle Ätzraten mit Geschwindigkeiten bis 28 nm/min für die Prozessbeschleunigung ermöglicht. PLASMATHERM VERSA LOCK 700 ist ein automatisiertes, modulares und konfigurierbares System, das mit mehreren Zonen für Flexibilität und Leistung ausgestattet ist. Es wurde entwickelt, um eine beispiellose Genauigkeit und Wiederholbarkeit mit Präzisionsvakuum- und Gassequenzierung, thermischer Steuerung und Prozessprofiloptimierung zu gewährleisten. PLASMATHERM/UNAXIS VERSA LOCK 700 verfügt über ultrahochauflösende Bildgebung und Positionierung für überlegene Ausrichtung und Wiederholbarkeit und einen hochfrequenten al ./Cu Ätzprozess für überlegene Selektivität und Ätzraten. Es ist auch mit einer fortschrittlichen Infrarot-CCD-Kameraeinheit für die Überwachung und Prozessoptimierung sowie mit mehreren Werkzeugzonen für Hochleistungsätzen, Reinigung, Photomaskenbewusstsein und O2-Ätzen ausgestattet. PLASMATHERM Versalock 700 ist auch mit einem effizienten, ergonomischen Design ausgestattet, das Anwendereffizienz und Sortierprodukt überall ermöglicht. Es ist für die nahtlose Integration in bestehende Systeme mit umfassenden Überwachungsfunktionen und Tools zur Fehlerbehebung konzipiert. Es ist mit einer temperaturgesteuerten Quarzkammer gebaut, die eine genaue Kontrolle der Prozesstemperaturen ermöglicht. Versalock 700 verfügt über eine variable Druckquelle, die eine überlegene Prozesssteuerung und Reproduzierbarkeit der Ergebnisse über eine breite Palette von Baugruppen ermöglicht. Insgesamt ist UNAXIS VERSA LOCK 700 eine Hochleistungs-Ätz- und Aschermaschine, die auf Genauigkeit, Wiederholgenauigkeit und überlegene Qualitätsleistung ausgelegt ist. Es ist mit zahlreichen Funktionen ausgestattet, die auf die anspruchsvollsten Ätz- und Ascheanwendungen zugeschnitten sind. Es ist hochgradig konfigurierbar und modular und bietet überlegene Präzision und Produktivität.
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