Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS Versalock #293804241 zu verkaufen

PLASMATHERM/UNAXIS Versalock ist ein Ätz-, Aschen- und Plasmareiniger für die Halbleiter-, MEM- und Dünnschichtverarbeitung. Dieses Werkzeug ist mit einer proprietären Offenkathoden-Plasmakammer und mehreren Prozessströmen gebaut, was es zu einem der vielseitigsten und effektivsten Werkzeuge zum Ätzen und Aschen von empfindlichen Strukturen macht. Das Gerät verfügt über ein neues patentiertes „Dry Etch Lock-Down“ -System zur überlegenen Genauigkeit von Plasmaätz- und -veraschungsprozessen. Die Hochtemperatur-UNAXIS Versalock Ätzeinheit ist konfigurierbar für jede Substratgröße bis 200 mm und bis zu 12 Ätz-/Aschestufen in Konfigurationen. Das einzigartige Offenkathoden-Design wurde optimiert, um eine präzise Steuerung der Ionendichte, Plasmaparameter und Prozessparameter zu ermöglichen. Die Maschine bietet eine integrierte thermische Hochtemperaturprozesskammer, die für alle Arten von Plasmachemie und Gasgemischen konfiguriert ist. PLASMATHERM Versalock bietet ultrascharfe Kantendefinition, minimale Profilermüdung und niedrige Ätzselektivität. Das Werkzeug verfügt über ein patentiertes zweistufiges Hochtemperatur-Aschverfahren, das eine gründliche Entfernung des abgeschiedenen Materials bis zum Substratniveau gewährleistet. Versalock asset bietet zudem integrierte Vision Monitoring und Wafer Mapping zur präzisen Charakterisierung von Prozessergebnissen und fortschrittlichen Prozessänderungen. Ein fortschrittlicher Rezeptmanager ist enthalten, um die Gleichmäßigkeit der Ergebnisse zu gewährleisten und die Zeit für Experimente zu minimieren. Die ausgeklügelten Mess- und Analysefähigkeiten von PLASMATHERM/UNAXIS Versalock werden durch Echtzeit-Datenerfassung und Parameteroptimierung weiter verbessert. Ein optionales hochauflösendes Spektrometer bietet eine spektrale Analyse der Prozessergebnisse und gewährleistet eine genaue Charakterisierung der Produktleistung. Ein automatisiertes Testmodell ist enthalten, um die Produktkonsistenz, Produktgenauigkeit und Rückverfolgbarkeit zu gewährleisten. UNAXIS Versalock-Ätzer, Ascher und Plasmareiniger sind ideal für Mikrostrukturen, MEMS und mikroskopische molekulare Ätz-/Ascheprozesse. Das einzigartige Offenkathoden-Design eliminiert Kreuzkontaminationen, verbessert die Kantendefinition und verbessert die Ätzgleichmäßigkeit. Die kurze Scanzeit und die leistungsstarken Testgeräte machen es zu einem vielseitigen und effektiven Ätz- und Aschewerkzeug. Mit seinem revolutionären Dry Etch Lock-Down-System zeichnet sich PLASMATHERM Versalock durch seine Konkurrenz aus.