Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS VLR 700 #9075710 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9075710
Wafergröße: 8"
ICP System, 8"
Single chamber
Front end
Robot
ICP Process module
Equipped with ICP source
(8) Gas channels
Transfer module: HINE 4.5 robot
Load module: Dual cassette platform, 8"
PLASMATHERM Design
Wafer mapping sensors
Mag lev turbo
Turbo controller
Process baratron.
PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der für die schnelle und präzise Mikromaschine schwieriger Materialien mit hoher Präzision entwickelt wurde. Es ist das fortschrittlichste Produkt seiner Klasse mit einer Reihe fortschrittlicher Ätz-/Aschertechnologien, darunter ein Linearantriebssystem, eine leistungsstarke Vakuumkammer und ein langlebiger Plasmakopf mit niedriger Temperatur. Das Linearantriebssystem ermöglicht einen reibungslosen Betrieb und eine schnelle, genaue Bearbeitung. Es wurde entwickelt, um Verzerrungen und Fehlstellungen aufgrund der Wärmeausdehnung zu vermeiden und einen zuverlässigen Betrieb auch bei extrem empfindlichen Materialien zu gewährleisten. Die hochpräzise Vakuumkammer bietet eine ausgezeichnete Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit, einen einstellbaren Gasstrom und ein einstellbares Druckniveau. Dies gewährleistet ein gleichmäßiges Ätzen und Aschen bei minimalem Materialabfall. Der Plasmakopf bietet eine konsequente Temperaturregelung für Niedrig- und Hochtemperaturprozesse. Es verfügt über eine selbstjustierende Düse zur präzisen Abgabe reaktiver Gase und eine präzise Rückkopplungssteuerung, um sicherzustellen, dass jeder Prozess optimal auf maximale Genauigkeit eingestellt ist. Darüber hinaus wurde der Plasmakopf entwickelt, um Kontaminationen zu minimieren, die Lebensdauer des Werkzeugs zu verlängern und unberührte Ergebnisse zu gewährleisten. Mit einer großen Auswahl an kompatiblen Kammermaterialien eignet sich UNAXIS VLR 700 für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen, wodurch Anwender eine außergewöhnliche Präzisions-Mikrobearbeitung erzielen können. Es verfügt über einstellbare Rezeptparameter und Software-Automatisierung, so dass es ideal für Prototypenproduktion und Hochvolumenbetrieb. Das Werkzeug ist auch für einfache Bedienung und Wartung konzipiert, so dass Benutzer schnell und einfach Wartung durchführen können. Insgesamt ist PLASMATHERM VLR 700 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der Anwendern beispiellose Leistung und Präzision bietet. Es bietet eine breite Palette von Funktionen und Fähigkeiten, wie ein Linearantriebssystem, leistungsstarke Vakuumkammer, Präzisionsplasmakopf, einstellbare Rezeptparameter und Software-Automatisierung, die es für eine Vielzahl von Aufgaben geeignet machen. Es ist für einfache Bedienung und Wartung konzipiert und ist in der Lage, hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit mit minimalem Abfall zu erreichen.
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