Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS VLR 700 #9272287 zu verkaufen

PLASMATHERM / UNAXIS VLR 700
ID: 9272287
ICP System LM Module TM Module Capable of (3) PM modules.
PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700 ist ein vakuumbasierter Ätzer/Ascher, der für den Einsatz in Mikrofertigungsprozessen entwickelt wurde. Es wird häufig verwendet, um dünne Filme von Materialien mit hoher Präzision und Wiederholbarkeit auf Substraten zu ätzen und abzuscheiden. Die Anlage basiert auf einer vakuumsichernden Reaktorkammer, die eine nahtlose Integration in jedes Verfahren ermöglicht. UNAXIS VLR 700 besteht aus drei Hauptkomponenten: Vakuumkammer, Prozesskammer und Vakuumschloss. Die Vakuumkammer unterstützt eine programmierbare Probenschale und Prozesskammer, die für verschiedene Anwendungen angepasst werden kann. Die Probenschale wird durch verstellbare Magnete gehalten, die bei der Probenplatzierung und Prozesssteuerung helfen. Die Prozesskammer ist mit einem hochsensitiven Temperaturregelsystem, einem Strahlungsschild und einem Substrathalter ausgestattet. Die Vakuumverriegelung sorgt für maximale Luftdichtigkeit durch die Verwendung ausgewogener Türdichtungen und Mehrfachanschlussventile. Es dient auch als Ein- und Austrittsweg für Materialien, die in die Kammer gelangen oder diese verlassen. Die fortschrittliche Prozesstechnologie von PLASMATHERM VLR 700 ermöglicht es Experten, Metall, Oxid und Halbleitermaterialien mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu ätzen, abzuscheiden und zu mustern. Das Gerät verfügt über eine integrierte Prozesskammer und Vakuummaschine, die sicherstellt, dass alle Prozessabläufe mit höchster Präzision und Parametern gesteuert und überwacht werden. Die digitale Steuerung ermöglicht anpassbare Prozessparameter, die genaue, wiederholbare Ergebnisse ermöglichen. Das Design des VLR 700 bietet eine hervorragende Luftdichtigkeit und ausgezeichnete chemische Beständigkeit und ist somit die perfekte Wahl für vakuumbasierte Anwendungen. Die hohe Temperaturtoleranz (bis 850 ° C) ermöglicht das Ätzen von Hochtemperaturmaterialien. Darüber hinaus ist PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700 mit einem maßgeschneiderten Softwarepaket ausgestattet, das einfachen Zugriff auf alle Parametereinstellungen, Prozessdaten und Leistungsdaten bietet und die Einrichtung und Überwachung des Prozesses vereinfacht. Insgesamt ist UNAXIS VLR 700 asset ein zuverlässiger und vielseitiger Ätzer/Ascher, ideal für Anwendungen von der Halbleitertechnik bis zur Mikrofertigung. PLASMATHERM VLR 700 ist mit seiner fortschrittlichen Prozesstechnologie, der hohen Temperaturtoleranz und der zuverlässigen Abdichtung eine ideale Wahl für diejenigen, die einen zuverlässigen Ätzer/Ascher suchen.
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