Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS VLR 700 #9384115 zu verkaufen

PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der für fortgeschrittene Halbleiterherstellungsanwendungen geeignet ist. Dieses Gerät ist ein Hybridplasma/Vakuumätzer/Ascher, der sowohl mit Ätz- als auch mit Ascheprozessen für verschiedene Arten von Materialoberflächen arbeiten kann. Es ist ein modulares System, das aus drei miteinander verbundenen Hauptkomponenten besteht und die beste Genauigkeit und Flexibilität bei der Verarbeitung von Substraten ermöglicht. Der RF Generator ist eine der Hauptkomponenten von UNAXIS VLR 700 und unterstützt sowohl Ätz- als auch Ascheprozesse. Es ist in der Lage, Leistungsstufen bis zu 1000 Watt mit einem Frequenzbereich zwischen 20 kHz und 13,56 MHz zu erreichen und unterstützt hochdichte Plasmagleichförmigkeit, Wiederholbarkeit und eine hervorragende Prozesssteuerung. Dies erleichtert eine präzise Verarbeitung, führt zu verbesserten Erträgen und geringeren Betriebskosten. Die Prozesskammer des PLASMATHERM VLR 700 ist das Herzstück der Einheit und soll eine niederdruckgleiche, gleichmäßige Plasmaumgebung bieten. Seine geringe Stellfläche ermöglicht eine einfache Installation und Wartung, während seine abnehmbaren, reflowable Funktionen und vielseitigen Zugangsanschlüsse eine effiziente Be- und Entladung von Substraten und Wartung ermöglichen. Die Prozesskammer ist mit einer effizienten Gesundheitsüberwachungsmaschine ausgestattet und eignet sich für Prozesse wie Ätzen, Reinigen und Bauen von dünnen Schichten und Nanostrukturen für die fortschrittliche Halbleiterherstellung. Schließlich ist der Controller der Control Hub des VLR 700, der es Anwendern ermöglicht, die Ätz-/Ascheprozesse effizient zu überwachen, zu warten und zu steuern. Es ermöglicht die Manipulation von mehr als 150 verschiedenen Parametern und lässt sich über branchenübliche Schnittstellen problemlos in externe Systeme integrieren. Der Controller beinhaltet erweiterte Diagnosefunktionen, die ihn für eine Vielzahl von Prozessbedingungen und Prozessrezepten geeignet machen. PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700 bietet ein umfassendes, integriertes Ätz-/Ascherwerkzeug, das sich ideal für Halbleiterherstellungsanwendungen wie MEMS, Dünnschichtätzen, Nanofabrikation und fortschrittliche Verpackungen eignet. Die Kombination aus Ätz- und Aschefunktionen, erstklassigen Funktionen und exzellenter Prozesskontrolle ermöglicht es Herstellern, hochwertige und zuverlässige Komponenten effizient zu produzieren, mit überlegenen Erträgen und höheren Renditen bei ihren Investitionen.