Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS VLR #9139629 zu verkaufen

PLASMATHERM / UNAXIS VLR
ID: 9139629
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2002
ICP LM-TM system, 6" 2002 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS VLR ist eine Art Ätzer/Ascher, die typischerweise für die Halbleiterverarbeitung und andere Anwendungen verwendet wird. Es ist in der Lage, Hunderte von Wafern pro Stunde mit seinen Hochtemperatur-Plasmastrahlen und anderen integrierten Komponenten zu verarbeiten. Die gesamte Ausrüstung ist benutzerfreundlich und dennoch effizient konzipiert, und seine verschiedenen Sicherheitsmerkmale machen es zu einer geeigneten Option sowohl für professionelle Einstellungen als auch für Heimlabore. UNAXIS VLR enthält einen hochpräzisen planaren Wellenleiter, der hoch fokussierte Plasmastrahlen über eine flüssige Produktivitätskammer sendet, die sowohl für die Atmosphäre als auch für ein Vakuumsystem offen ist. Die Plasmastrahlen können Temperaturen von mehr als 1000 ° C erreichen und dienen der Materialabtragung von der Oberfläche des Wafers. Die Flüssigkeitsproduktivitätskammer ist ein 300mm Quarzgefäß, das eine unabhängige Umlaufflüssigkeitszufuhr enthält, um die Temperatur und die korrosive Umgebung innerhalb der Kammer zu steuern. Das Gerät enthält außerdem ein integriertes Kühlmodul und eine Computerschnittstelle, mit der Benutzer den Ätzprozess programmieren und überwachen können. Das Kühlmodul hilft, das Substrat nach Abschluss des Ätzprozesses schnell zu kühlen, was einen schnellen und effizienten Produktionszyklus ermöglicht. Die Computerschnittstelle ermöglicht nicht nur die Programmierung der Maschine, sondern auch die Echtzeitüberwachung und Datenerfassung. So können Anwender sowohl die Prozessbedingungen als auch die Ergebnisse überwachen, um höchste Präzision zu gewährleisten. Schließlich verfügt PLASMATHERM VLR auch über eine breite Palette von Sicherheitsmerkmalen, um ein minimales Risiko für Schäden an den Wafern oder Benutzern zu gewährleisten. Dazu gehört ein geschlossenes Werkzeug, das verhindert, dass das Personal mit den im Ätzprozess eingesetzten korrosiven Chemikalien in Berührung kommt, sowie mehrere integrierte Sensoren, die ein sicheres und effizientes Funktionieren der Anlage gewährleisten. Insgesamt ist VLR ein effizienter und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der Hunderte von Wafern pro Stunde präzise handhaben kann. Dank seiner Hochtemperatur-Plasmastrahlen, des Kühlmoduls, der integrierten Sicherheitsfunktionen und der Computerschnittstelle eignet es sich sowohl für die professionelle Einstellung als auch für zu Hause und bietet Benutzern ein effektives und effizientes Modell, mit dem Wafer mit hoher Präzision hergestellt werden können.
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