Gebraucht PLASMATHERM Versaline #293592006 zu verkaufen

PLASMATHERM Versaline
ID: 293592006
Wafergröße: 6"
ICP-RIE System, 6" PSS ICP: 4" x 4".
PLASMATHERM Versaline Ätzer/Ascher ist eine hochmoderne Ätz- und Aschemaschine, die für überlegene Leistung in Halbleiterherstellungsanwendungen entwickelt wurde. Dieses System verfügt über eine breite Palette von Ätz- und Aschelösungen für eine Vielzahl von Substraten und Prozessen. Versaline verfügt über eine hochflexible Prozesskammer und eine Vielzahl von Konfigurationen. Diese Kammer verfügt über unabhängigen Gaseinlaß und Abgas, um eine genaue Kontrolle über die Prozessumgebung zu gewährleisten. Die Anordnung der Kammer weist eine Zweizonenverfügbarkeit mit einer isotropen Aschezone und einer Richtätzzone auf. Dadurch kann die Einheit skaliert werden, um unterschiedlichen Prozessanforderungen gerecht zu werden. PLASMATHERM Versaline verwendet eine fortschrittliche Magnetron-Sputterquelle, die eine präzise Flusssteuerung und hohe Gleichmäßigkeit bietet. Es hat auch eine hocheffiziente Vakuumumgebung, mit einer Pulsmaschine an Ort und Stelle, um saubere Bedingungen aufrechtzuerhalten und die Menge an Kontaminaten zu reduzieren, die den Prozess beeinflussen könnten. Die inerte Atmosphäre im Inneren der Kammer sorgt für höchste Qualität. Darüber hinaus verfügt Versaline über ein eingebautes Load-Lock-Tool, das den Anwendern eine präzise Kontrolle über die Ätzatmosphäre ermöglicht. Diese Anlage verfügt auch über ein computergesteuertes Gasspülmodul, das eine präzise Gassteuerung ermöglicht. PLASMATHERM Versaline verfügt zudem über eine präzise Temperaturregelung, mit der Anwender die optimalen Prozesstemperaturen für ihre spezifischen Substrate und Prozesse auswählen können. Versaline ist für einen präzisen und zuverlässigen Betrieb mit geringem Wartungsaufwand und ausgezeichneter Leistung ausgelegt. Darüber hinaus verfügt das Modell über erweiterte Überwachungs- und Diagnosefunktionen und gibt Benutzern die Informationen, die sie benötigen, um ihren Prozess effektiv zu optimieren. Insgesamt ist PLASMATHERM Versaline Ätzer/Ascher eine fortschrittliche, hocheffiziente und einfach zu bedienende Ausrüstung bietet präzise Ätz- und Aschelösungen. Es ist ein ideales System für jede Halbleiterherstellung Anwendung, so dass Benutzer die höchste Qualität Ergebnisse zu erzielen. Es ist auf Zuverlässigkeit und Leistung ausgelegt, mit einem geringen Wartungsaufwand und ausgezeichneten Prozessergebnissen.
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