Gebraucht PLASMATHERM Versaline #293602359 zu verkaufen

PLASMATHERM Versaline ist ein anspruchsvoller Ätzer/Ascher, der mit Präzision und fortschrittlicher Technik entwickelt wurde, um leistungsstarke Ätz- und Ascheleistungen zu liefern. Ausgestattet mit einem modernen, proprietären In-situ-Plasma ermöglicht Versaline höchste Ätz- und Aschegenauigkeit und Wiederholbarkeit. Seine Flexibilität ermöglicht die schnelle Verarbeitung verschiedener Wafermaterialien und -größen, wobei die Parameter Gasfluss, Druck und Plasmazündung automatisch variieren, um eine hohe Prozessqualität zu gewährleisten. Die fortschrittlichen Funktionen und Steuerelemente von PLASMATHERM Versaline ermöglichen es Benutzern, sowohl Ätz-/Aschefläche und -tiefe auf einer Vielzahl von Materialien als auch das Mesa-Ätzen mit hohem Seitenverhältnis zu mikrometrisieren und abzustimmen. Der Ätzer/Ascher mit Sauerstoff oder Chlor ist ideal für viele Materialtypen, darunter Silizium, Germanium, Kieselsäure und Glas, GaAs, Siliziumnitrid und polykristalliner Diamant. Bestehend aus einer BCD (Base Configuration Device) -Konsole, einer integrierten Hardwareplattform und einer gravierten Port-Frontplatte verwendet Versaline fortschrittliche Prozesskontrolltechniken, um Belüftung, inerte oder oxidierende Atmosphäre, ein großes Plasma-Array und Gaskontrolle bereitzustellen. Darüber hinaus arbeiten die Ion-enoch-Systeme des Systems, der beheizte Suszeptor und die integrierten E-Gun-Systeme zusammen, um die Prozessdifferenzierung zu optimieren und eine minimale Kontamination zu gewährleisten. Durch die Flexible Modular Control (FMC) Technologie erreicht PLASMATHERM Versaline Gleichmäßigkeit und Stabilität von Ätz- und Ascheparametern sowie Echtzeitüberwachung und Prozesssteuerung. Die Systeme verfügen auch über ein eingebautes Vibrationswarnsystem, um über anormale Situationen zu informieren, so dass der Prozess schnell korrigiert werden kann. Mit einer großen Auswahl an Transfermodulen bietet Versaline eine hochflexible Umsetzung von Rezepturen, effizientes Probenhandling und die Möglichkeit, verschiedene Prozesskomponenten wie isotropes Ätzen, Reactive Ion Etching (RIE), dual-frequency dielektrisches Ätzen, Isolationsätzen und mehr zu kombinieren. Der Ätzer/Ascher unterstützt auch den Wafertransport mit automatisierten Handlern für die Herstellung von bis zu acht Wafern pro Charge. Insgesamt ist PLASMATHERM Versaline ein leistungsstarker und innovativer Ätzer/Ascher, der zuverlässige wiederholbare Leistung und präzise Steuerung ermöglicht. Mit seinen umfangreichen Funktionen bietet Versaline überlegene Fähigkeiten, die überlegene Prozessqualität und Kapazität für eine breite Palette von Anwendungen gewährleisten.