Gebraucht PLASMATHERM Versaline #293621803 zu verkaufen
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ID: 293621803
Weinlese: 2014
ICP-RIE System
Missing parts:
Valves
Elevators
Power supplies
Generators
Pumps
2014 vintage.
PLASMATHERM Versaline Ätzer/Ascher ist eine fortschrittliche Plasmaätz- und Ascheausrüstung, die entwickelt wurde, um außergewöhnliche Funktionen für das Ätzen von Teilen, die Reinigung von Wafern und die Oberflächenbearbeitung zu bieten. Dieses System besteht aus modularen Komponenten, die an spezifische Bedürfnisse und Trends in der Ätz-/Aschelösungsindustrie angepasst werden können. Die Prozesskammer von Versaline besteht aus 304 Edelstahl und einem PFA-Liner. Dieser Ätzer/Ascher ist vakuumdicht, gasdicht und säurebeständig, um einen zuverlässigen und sicheren Betrieb zu gewährleisten. Ein leistungsfähiger elektrischer Feldgenerator erzeugt ein Plasma in der Prozesskammer entweder in Sauerstoff- oder Stickstoffatmosphäre mit unterschiedlichen Betriebstemperaturen und Druckniveaus. Dieses Plasma ermöglicht PLASMATHERM Versaline, komplizierte Formen, Vertiefungen und Muster auf Metall, Legierung, Keramik und Halbleitern mit hoher Präzision und Wiederholbarkeit zu ätzen. Der Ätzprozess wird üblicherweise durch eine Reihe chemischer Verfahren wie Ätzen mit organischen Lösungsmitteln, Naßoxidation und reaktives Ionenätzen (RIE) durchgeführt. Diese Einheit bietet zwei verschiedene Ätztechniken an, nämlich „naßchemisches Ätzen“ und „reaktives Ionenätzen“. Weiterhin zeichnet sich Versaline durch ein kombiniertes Naß- und Trockenätzverfahren aus, das bei der Herstellung industrieller Komponenten von Vorteil ist. Dieser Ätzer/Ascher ist beständig gegen chemische und mechanische Verunreinigungen und kann in einer Vielzahl von Anwendungen verwendet werden, einschließlich chemisch-mechanisches Polieren (CMP) und Plasmabearbeitung. PLASMATHERM Versaline bietet zudem eine hervorragende Oberflächenpräparationsleistung durch eine Kombination von Faktoren wie hohe Empfindlichkeit, hohe Präzision und die Fähigkeit, die Ätzgeschwindigkeit und -tiefe präzise und wiederholt zu steuern. Insgesamt ist Versaline Ätzer/Ascher eine fortschrittliche und zuverlässige Maschine, die entwickelt wurde, um fortschrittliche Ätz-/Aschelösungsanforderungen zu erfüllen. Es bietet vielseitige Ätz- und Aschefähigkeiten, zusätzlich zu chemisch-mechanischen Polier- und Plasmabearbeitungsfähigkeiten, mit außergewöhnlicher Präzision und Wiederholbarkeit.
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