Gebraucht PLASMATHERM Versaline #293623685 zu verkaufen

ID: 293623685
Weinlese: 2011
Deep silicon etcher PM1 Chamber PDC (2) Pumps 2011 vintage.
PLASMATHERM Versaline ist eine vielseitige Ätz- und Ascheätzausrüstung, die auf die Bedürfnisse der Labor- und Industrieprofis zugeschnitten ist. Versaline kombiniert den zuverlässigen, wiederholbaren, hochpräzisen Ätz- und Ascheprozess, der für eine qualitativ hochwertige Ätzung erforderlich ist, mit den innovativen Konstruktions- und Prozesskontrollfunktionen, die für die kommerzielle Produktion erforderlich sind. PLASMATHERM Versaline verfügt über ein 13-Zoll-LCD-Touchscreen-Display mit hohem Kontrast für einfache Bedienung und einen modularen Aufbau, der bis zu acht Workstations unterstützt, um den Produktionsdurchsatz zu maximieren. Das Multi-Gas Control (MGC) System bietet Anwendern die Flexibilität, zwischen inerten und reaktiven Gasen zu wählen, um die spezifischen Prozessanforderungen zu erfüllen. Mit der umfassenden Produktionsüberwachungs- und -verfolgungseinheit von Versaline können Anwender jeden Aspekt des Ätz- und Ascheprozesses von Anfang bis Ende genau überwachen und steuern. PLASMATHERM Versaline wird von einer zweistufigen induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) für optimale Ätz- und Ascheleistung angetrieben. Versaline nutzt modernste digitale Netzteile, um bis zu 3.000 Watt Leistung zur überlegenen Kontrolle des Ätz- und Ascheprozesses zu liefern. Die feineinstellbare elektromechanische Bewegungsmaschine von PLASMATHERM Versaline sorgt für eine präzise Positionierung des Wafers. Versaline bietet eine Vielzahl von Arbeitskammergeometrien mit gleichmäßiger Plasmadichte für die Hochdurchsatzproduktion und gleichmäßige Ätz-/Ascheergebnisse. PLASMATHERM Versaline ist mit einer Edelstahlkammer entwickelt, um Qualitätsätz- und Ascheergebnisse zu gewährleisten. Die Verfahrenschemie Versalin ist handhabungsfähig, umfasst aber nicht nur Edelgase, Halogenide und Seltenerdverbindungen. Die Kammerdeckel sind so ausgelegt, dass sie Ätzdämpfe und Partikel enthalten, wodurch die Kontamination von zuvor geätzten Wafern minimiert wird. PLASMATHERM Versaline bietet vielseitige und leistungsstarke Optionen. Das integrierte Steuerungstool von Versaline ermöglicht es Benutzern, Prozessrezepte anzupassen und sie für zukünftige Laufzeiten zurückzurufen. Der bordeigene Analysator kann die Gaszusammensetzung der Kammer während des Ätz- und Aschevorgangs zur optimalen Prozesssteuerung überwachen. PLASMATHERM Versaline verfügt auch über ein Prozessüberwachungsmodul mit integrierten Diagnose- und Analysefunktionen, um Qualitätsergebnisse zu gewährleisten und die Prozesskonsistenz zu maximieren. Versaline ist eine innovative Ätz- und Ascheätzanlage, die den Anforderungen jeder Labor- oder industriellen Produktionsumgebung gerecht wird. PLASMATHERM Versaline 's fortschrittliches Betriebsmodell, Präzisionsprozesssteuerung und modularer Aufbau machen es zu einer idealen Wahl für zuverlässige, wiederholbare und genaue Ätz- und Ascheergebnisse.
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