Gebraucht PLASMATHERM Versaline #9254663 zu verkaufen
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ID: 9254663
Wafergröße: 3"-8"
Weinlese: 2011
ICP Etcher, 3"-8"
(4) Chambers
(4) PM Modules
Cassette to cassette
BROOKS AUTOMATION MX 600 Handler station
2011 vintage.
PLASMATHERM Versaline ist eine kostengünstige Ätz- und Aschevorrichtung für präzises dielektrisches Ätzen und schnelles Aschen von Polymer- und Glassubstraten. Versaline ist für die präzise Steuerung von Ätzprozessparametern konzipiert und bietet einheitliche und wiederholbare Ätzprofile mit minimalem Ätzüberschuss. Mit HF-Leistung und einer Vielzahl von Plasmagasen kann eine verbesserte Ätzgleichförmigkeit, Selektivität und Profilkontrolle erreicht werden. PLASMATHERM Versaline System besteht aus einem einzigen kreisförmigen Futter und einer zweistufigen Vakuumkammer. Das Spannfutter weist eine zentrale Elektrode auf, die in einem chemisch ätzenden Plasmaverfahren verwendet wird. Vier Gasleitungen versorgen die Prozessgase in die Kammer und die Kammer ist mit einer vorgekühlten Wand und einem Quarzbildschirm zur Prozessüberwachung umschlossen. Eine bewegliche, vertikale HF-Spule ermöglicht eine präzise Einstellung des Plasmaätzprofils. Das Gerät arbeitet im Druckbereich von 50 mTorr bis 760 Torr und verfügt über eine Schleusenkammer zum Entlüften und Beladen. Versaline Ätzer ist für die Prozessausführung konzipiert und mit einer umfassenden Benutzeroberfläche und einem Prozessrezept-Editor ausgestattet. Die Anbindung an die Kammer erfolgt über den PLASMATHERM Versaline Controller, der die Lambda-Software verwendet. Die Lambda-Software umfasst eine fortschrittliche Überwachungsmaschine für Substrattemperatur, Druck, HF-Leistung und Plasmadichte. Die Prozessparameter können in Echtzeit geändert und feinjustiert werden. Darüber hinaus bietet Versaline-Werkzeug auch eine Reihe komplexer Optionen, einschließlich elektrostatischer Spannfutter für die Temperaturregelung, Substratrotation und die Fähigkeit, in eine breite Palette von anderen Substraten, wie Dünnschichtabscheidungssysteme zu integrieren. PLASMATHERM Versaline ist in der Lage, eine schnelle thermische Verarbeitung einer Vielzahl von Probenmaterialien, wie molekulare Nanokompositmaterialien, Polymere und Gläser, und bietet eine hervorragende Gleichmäßigkeit und Ätzprofilkontrolle. Durch die präzise Steuerung des Ätzprofils eignet sich Versaline gut für hochpräzise Ätz-, Asche- und Glühprozesse. Es ist auch ein ideales Werkzeug, um kontrollierte Tiefe und Profil für nanoskalige Lithographie- und Ätzanwendungen zu erreichen. PLASMATHERM Versaline ist ein kostengünstiges Ätz- und Aschegut für Geräte im Nanometermaßstab und eignet sich ideal für eine breite Palette von Laboren, die feinjustierte Ätz- und Aschesysteme benötigen. Versaline bietet hervorragende Leistung, Genauigkeit und Zuverlässigkeit beim Ätzen von Substraten im Nanobereich.
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