Gebraucht PLASMATHERM Versaline #9254667 zu verkaufen
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ID: 9254667
Wafergröße: 3"-8"
Weinlese: 2011
CVD System, 3"-8"
(3) Chambers
(2) PECVD Chambers
HDP-CVD Chamber
(3) Power modules
BROOKS AUTOMATION MX 600 Handler station
2011 vintage.
PLASMATHERM Versaline ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, die für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterproduktions- und Forschungsindustrie entwickelt wurde. Es eignet sich sowohl für Chargen- als auch für Einzelwafer-Anwendungen und ist aufgrund seiner kompakten Größe eine gute Wahl für Labors mit begrenztem Platz. Versaline bietet außergewöhnliche Präzision und Flexibilität und ermöglicht Benutzern Zugriff auf viele verschiedene Ätz- und Aschetechniken. Es umfasst eine Reihe von speziellen Funktionen, wie ein mehrstufiges Ätzverfahren, Überdruckschutz, Gleichmäßigkeitskontrolle und einen automatischen Reinigungsmodus. Die Maschine verfügt auch über eine moderne Steuerungsausrüstung, die mehrere Softwarepakete unterstützt, so dass sie in einer Vielzahl von Einstellungen verwendet werden kann. Im Gegensatz zu den meisten Aschesystemen ist PLASMATHERM Versaline für den Betrieb in einer vollständig abgedichteten Kammer konzipiert. Diese innovative Vakuumdichtungstechnologie hilft, Partikel und Gase zu eliminieren, die das Gefäß verunreinigen könnten, was die Qualität der Ausgänge verbessert. Das System verfügt über einen leistungsfähigen Prozessabschnitt, der Benutzern eine breite Palette von Optionen bietet, um ihnen zu helfen, ihre gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Es ist mit einer Gasversorgungs- und Abgasanlage sowie einer Vielzahl von Heizmöglichkeiten ausgestattet. Dies ermöglicht es dem Benutzer, eine Reihe von Parametern, einschließlich Druck, Durchfluss und Temperatur, mit unglaublicher Genauigkeit zu steuern. In Kombination mit seiner Drehstufe eignet es sich somit ideal zum Ätzen und Aschen mit einer Reihe von Substraten. Dank seiner fortschrittlichen Software-Suite kann Versaline einfach in andere Systeme integriert werden, um eine nahtlose Produktionslinie zu bilden. Darüber hinaus können mit seinem übersichtlichen Wartungsmodus Überwachungs- und Wartungsvorgänge bequem von der Steuerungsmaschine aus durchgeführt werden. Dies hilft Benutzern, Anomalien schnell zu erkennen und zu korrigieren, bevor Beschädigungen des Werkzeugs oder der Substrate auftreten. PLASMATHERM Versaline ist eine ideale Wahl für diejenigen, die eine äußerst zuverlässige und genaue Ätz- und Aschemaschine suchen. Seine einzigartigen Eigenschaften und einfache Bedienung geben ihm einen Vorteil gegenüber den meisten seiner Konkurrenten, so dass es sich lohnt, für jedes Labor zu berücksichtigen.
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