Gebraucht PLASMATHERM Versalock 700 #9355618 zu verkaufen
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ID: 9355618
Wafergröße: 8"
Reactive Ion Etcher (RIE), 8"
LM/TM Module
RIE Module
Cassette to cassette load lock
Robot transfer
LEYBOLD 361C Turbo pump with controller
MKS Throttle valve with controller
ADVANCED ENERGY RF10S 1000 W RF Lower electrode power supply
With match work and tuner
(4) Mass flow controllers.
PLASMATHERM Versalock 700 ist ein hochwertiges Ätz-/Aschewerkzeug für eine Vielzahl von Substratmaterialien und -prozessen. Diese präzise Ausrüstung sorgt für wiederholbare Genauigkeit und Gleichmäßigkeit bei der Arbeit mit verschiedenen Größen von Substraten. Es verfügt über ein einzigartiges ergonomisches Nassbankdesign, das den Benutzerkomfort maximiert und gleichzeitig eine sichere Arbeitsumgebung aufrechterhält. Versalock 700 bietet ein breites Prozessfenster, das Hochgenauigkeitsergebnisse beim Ätzen oder Aschen ermöglicht. PLASMATHERM proprietäre VersaLock™ Mode Auswahlfunktion ermöglicht es Benutzern, das System für Multi-Mode-Verarbeitung von bis zu vier Substraten auf einmal zu konfigurieren. Dadurch wird ein konsistentes Ätzen/Aschen über alle Substrate für verbesserte Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit gewährleistet. Mit fortschrittlicher Ätztechnologie ist PLASMATHERM Versalock 700 präzise und wiederholbar für Produktionslinien-Umgebungen mit der Fähigkeit, Prozessparameter konsistent und einheitlich zu halten. Seine hochadaptive Prozesssteuerung ermöglicht dem Gerät maximalen Durchsatz und Präzision bei gleichzeitiger Lieferung von Qualitätsergebnissen. Versalock 700 bietet auch eine breite Palette von Zubehör zur Anpassung des Ätz-/Ascheprozesses an bestimmte Anwendungen. Dazu gehören Probenhalter, Probengestelle, Prozessüberwachungssensoren und Massendurchflussregler. Es hat auch eine optionale Ultra-Niederdruck-Ätzung, die ideal für feine Eigenschaften und empfindliche Substratmaterialien ist. PLASMATHERM Versalock 700 verfügt auch über eine umfassende Sicherheitsmaschine, um Benutzer vor Schäden zu schützen. Dazu gehören ein eingebauter Trockenschrank, der das Austreten von erhitzten Gasen verhindert, ein thermisches Ausschneidwerkzeug zur Vermeidung von Überhitzung und Druckverriegelungen, die bei Überschreiten einer vorgegebenen Grenze zum Lösen ausgelegt sind. Abschließend ist Versalock 700 ein fortschrittliches Ätz-/Aschewerkzeug, das präzise, wiederholbare Ergebnisse für eine Vielzahl von Substratmaterialien und -prozessen liefert. Mit seinem breiten Fenster von Prozessparametern ermöglicht es dem Anwender, den Ätz-/Ascheprozess auf bestimmte Anwendungen abzustimmen. Es verfügt auch über eine umfangreiche Sicherheitsressource, um Benutzer vor Risiko und Schaden zu schützen.
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