Gebraucht PLASMATHERM Versalock 700 #9355619 zu verkaufen
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ID: 9355619
Wafergröße: 8"
PECVD System, 8"
LM/TM Module
Cassette to cassette load lock
Robot transfer
(6) Zones WATLOW Chamber heat controller
ADVANCED ENERGY RF5S 500 W RF Lower electrode power supply
With match work and tuner
(4) Mass flow controllers.
PLASMATHERM Versalock 700 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher für präzise Materialbearbeitung. Es verwendet die neueste Technologie, um die Lebensdauer jedes Projekts zu verlängern, von ultrafeinen Metallspuren bis hin zu großflächigen Prototypen. Versalock 700 bietet die Vielseitigkeit und Leistung, die sowohl für die Materialwissenschaft als auch für Forschung und industrielle Anwendungen erforderlich sind. PLASMATHERM Versalock 700 verfügt über ein fortschrittliches, ergonomisch gestaltetes Bedienfeld, das ein funktionelles, benutzerfreundliches und intuitives Benutzererlebnis bietet. Der präzise 2,8-Zoll-LCD-Farb-Touchscreen ermöglicht es Benutzern, Aufträge schnell und präzise zu konfigurieren und zu speichern, um eine Verschlechterung der Funktionen zu verhindern. Die Standardspeicherkapazität von 382 MB in Kombination mit dem großen Grafik-LCD kann bis zu 40 Prozessprogramme ohne zusätzliche Hardware speichern. Die fortschrittlichen Chemikalien bieten zahlreiche Ätz- und Schleifmittel-Reinigungsmöglichkeiten. Eine breite Palette von nasschemischen Ätz- und Aschemöglichkeiten ist verfügbar, einschließlich Pulverstrahlen und Ätzen. Wie bei allen PLASMATHERM-Systemen stehen anpassbare Aufräumoptionen wie Beschallung, automatisierte Waferübertragung und erweiterter Roboterbetrieb zur Verfügung. Mit der Fähigkeit, unerwünschtes Material mit einem Knopfdruck zu ätzen oder wegzubrennen, ist Versalock 700 eine ideale Wahl für effiziente Operationen. Im Kern ist PLASMATHERM Versalock 700 mit zwei Bussen ausgestattet, die Gate-Elektroden aufweisen, um Schäden an Substraten und Merkmalen auf der Waferoberfläche zu minimieren. Jeder dieser Busse ist mit 3-Axis Robotern ausgestattet, um jeden Zielwafer genau abzulegen und zu koordinieren. Die Roboter verfügen auch über einen Isolationsbereich von bis zu + 1 "vom Substrat entfernt, so dass keine Kontamination von außen gewährleistet ist. Darüber hinaus kann Versalock 700 programmiert werden, um zwischen Hochstrom und Standard-Stromversorgungskonfiguration umzuschalten, um die Prozesseffizienz zu erhöhen. PLASMATHERM Versalock 700 ist in einem Reinraum der Klasse 10 untergebracht, der eine gut geschlossene, kontaminantfreie Arbeitsumgebung ermöglicht. Das Gerät ist mit einem integrierten Diodenlaser ausgestattet, um nur das angestrebte Material gleichmäßig zu beeinflussen, wodurch zusätzliche Stromversorgungen entfallen. Darüber hinaus entfällt bei Versalock 700 der Zeit- und Kostenaufwand für den Austausch von Gasen auf dem Ätzsystem mit seiner automatisierten Gasfördereinheit. Für eine effiziente Ätz-/Bearbeitungsmaschine mit zahlreichen anpassbaren Optionen ist PLASMATHERM Versalock 700 die überlegene Wahl. Das intuitive Design und die benutzerfreundlichen Funktionen machen es zur idealen Wahl für jeden Ätz- oder Ablationsauftrag.
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