Gebraucht PLASMATHERM VLN - Versaline #9124972 zu verkaufen
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ID: 9124972
Weinlese: 2005
ICP Etcher
Manual load lock - four wafer transfer
(RF1)ENI ACG-6B RF 500W - 13.56MHz power supply with a seren AT6NVL match work - MC2 controller
(RF2) ENI GMW-25A 2500W - 2.00MHz with seren AT25NVL match work - MC2 controller
Seiko seiki 1303CV turbo pump and SCU 700 controller
Inter cal gate valve
Edwards scroll roughing pump
(6) Mass flow controller/gas lines with isolation
Process and bypass valves
He backside cooling
Watlow chamber heaters and controllers
Jorin yvon endpoint
Plasmatherm windows based OS
208V, 3 Phase, 50/60 Hz
2005 vintage.
PLASMATHERM VLN - Versaline Ätzer/Ascher ist eine präzisionsgesteuerte Waferbearbeitungsmaschine, die zum Ätzen/Aschen verschiedener Arten von Materialien wie Wafer, Metall und Siliziumsubstrate entwickelt wurde. Die Maschine verwendet eine Plasmaquelle mit hoher Kontrolle und Genauigkeit, um überlegene Ätz-/Ascheergebnisse zu liefern. Zu den wichtigsten Funktionen des Versaline gehören hochpräzise Steuerungen, schnelles Plasmaätzen/-aschen und ausgeklügelte Prozesskontrollfunktionen, die eine anspruchsvolle Waferbearbeitung ermöglichen. Die Maschine nutzt einen 100MHz HF-Generator, um bis zu 900 Watt HF-Leistung für optimales Waferätzen/-aschen zu erzeugen. Die 12-Zonen-Ätz-/Aschekammer der Maschine hat einen weiten Bewegungsbereich und kann Ätz-/Ascheparameter einschließlich Temperatur für eine optimale Verarbeitungsreinheit genau steuern. Jede Zone verfügt über eigene Prozesssteuerungs- und Druckregelsysteme, um präzise Ergebnisse zu gewährleisten. Die Maschine verfügt auch über eine 12-Zonen-Backstation, um die Wafer vor dem Ätzen/Aschen vorzubehandeln, so dass Benutzer eine bessere Gleichmäßigkeit und Prozesswiederholbarkeit erzielen können. Die Bake Station ist mit eigenen unabhängigen Temperatur- und Druckregelsystemen für mehr Präzision und bessere Ergebnisse ausgestattet. Die Versaline Ätz-/Aschekammer besteht aus hochwertigem Aluminium mit einer geschweißten Konstruktion, die Steifigkeit, Haltbarkeit und überlegene Prozessleistung bietet. Es verfügt auch über eine programmierbare Benutzeroberfläche, die eine einfache und effektive Programmierung der Ätz-/Ascheparameter ermöglicht. Darüber hinaus hilft die Benutzeroberfläche auch dabei, den Prozessverlauf zu verfolgen und die Leistung in Echtzeit zu überwachen. Abschließend ist VLN - Versaline Ätzer/Ascher eine präzise gesteuerte Waferbearbeitungsmaschine, die schnell und präzise überlegene Ätz-/Ascheergebnisse liefert. Es verfügt über eine anspruchsvolle Mehrzonen-Ätz-/Aschekammer, eine programmierbare Benutzeroberfläche und eine Backstation zur Vorbehandlung von Wafern vor dem Ätzen/Aschen. Mit seiner hochwertigen Konstruktion und den fortschrittlichen Funktionen liefert diese Maschine konsistente Ergebnisse und eine hohe Kundenzufriedenheit.
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