Gebraucht PLASMATHERM VLR 700 #293759446 zu verkaufen

Hersteller
PLASMATHERM
Modell
VLR 700
ID: 293759446
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2006
Dry etcher 2006 vintage.
PLASMATHERM VLR 700 ist ein vielseitiges Ätz-/Ascherwerkzeug, das für fortschrittliche Plasmabearbeitungsanwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Diese hochmoderne Ausrüstung verfügt über innovative Technologien, um präzise Ätz- und Reinigungsprozesse auf einer Vielzahl von Substraten zu ermöglichen und ist damit eine ideale Lösung für Forschung und Entwicklung sowie für Serienumgebungen. Kern von VLR 700 ist eine Hochleistungs-Plasmaquelle, die eine hoch kontrollierte und gleichmäßige Plasmadichte für eine effiziente Verarbeitung erzeugt. Das System ist mit mehreren Gaseinspritzöffnungen ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Gasdurchflussraten und Zusammensetzungen ermöglichen, um die Ätz- oder Aschechemie an spezifische Anforderungen anzupassen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über fortschrittliche HF-Netzteile zur Erzeugung und Steuerung des Plasmas, die konsistente und zuverlässige Verarbeitungsbedingungen gewährleisten. Ein wesentliches Merkmal von PLASMATHERM VLR 700 ist seine hochpräzise Substrathandhabungsmaschine, die eine genaue Positionierung und Ausrichtung von Proben während der Verarbeitung ermöglicht. Dadurch werden einheitliche Ätzprofile gewährleistet und jegliches Potential für Probenschäden oder Fehlstellungen beseitigt. Das Werkzeug enthält auch einen ausgeklügelten Temperaturregelmechanismus, um das Substrat während des gesamten Prozesses auf der gewünschten Temperatur zu halten, was die Reproduzierbarkeit und Kontrolle des Prozesses weiter verbessert. VLR 700 bietet eine breite Palette von Prozessfähigkeiten, einschließlich Ätzen verschiedener Materialien wie Silizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Metalle und mehr. Es unterstützt auch Ascheverfahren zur Entfernung von Photoresist und anderen organischen Verunreinigungen von Substraten. Das Asset bietet konfigurierbare Prozessrezepte, mit denen Benutzer Parameter wie Prozesszeit, Gasflussraten, Temperatur- und Leistungseinstellungen optimieren können, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. In Bezug auf Benutzeroberfläche und Steuerung verfügt PLASMATHERM VLR 700 über eine benutzerfreundliche Softwareplattform, die eine einfache Programmierung und Überwachung der Verarbeitungsparameter ermöglicht. Das Modell bietet Funktionen zur Echtzeit-Prozessüberwachung und Datenprotokollierung, sodass Benutzer die Prozessleistung verfolgen und bei Bedarf Anpassungen vornehmen können. Darüber hinaus kann das Gerät mit einem Host-Computer zur Fernüberwachung und -steuerung integriert werden, was die Gesamteffizienz und Produktivität erhöht. Der VLR 700 ist auf Zuverlässigkeit und Robustheit ausgerichtet, um langfristige Leistung und minimale Ausfallzeiten zu gewährleisten. Das System wird aus hochwertigen Materialien und Komponenten konstruiert und durchläuft strenge Prüf- und Qualitätssicherungsverfahren, um einen konsistenten und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Darüber hinaus ist das Gerät für einfache Wartung und Wartung konzipiert, mit zugänglichen Komponenten und vom Benutzer austauschbaren Teilen, um Unterbrechungen der Produktionspläne zu minimieren. Insgesamt stellt PLASMATHERM VLR 700 eine hochmoderne Lösung für Ätz- und Ascheanwendungen in der Halbleiterindustrie dar. Seine fortschrittliche Technologie, präzise Steuerungsfunktionen und benutzerfreundliche Oberfläche machen es zu einem wertvollen Werkzeug für eine breite Palette von Forschungs-, Entwicklungs- und Produktionsprozessen. Mit seiner überlegenen Leistung und Zuverlässigkeit ist VLR 700 ein Schlüsselfaktor für Halbleiterunternehmen, die qualitativ hochwertige Ergebnisse erzielen und die Produktivität in ihren Plasmabearbeitungsvorgängen maximieren möchten.
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