Gebraucht PLASMATHERM VLR #9156981 zu verkaufen

PLASMATHERM VLR ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung, die eine hochpräzise Strukturierung und Verarbeitung einer Vielzahl von Substraten ermöglicht. Es verwendet eine Kombination von energiereichen Elektronzyklotronklangfülleplasmaquellen und dem schnellen Thermalausglühen, um eindrucksvolle Prozesspräzision und Leistung zu erreichen. VLR ist ein vollautomatisches Ätz- und Aschesystem, das Substrate im Bereich von 1 bis 9 Zoll verarbeiten kann. Das Gerät verfügt auch über eine Reihe von Ätzgas- und Gaseinspritztechniken, um optimale Ätzergebnisse zu gewährleisten. Der Ätzprozess wird durch eine integrierte Computermaschine gesteuert, wodurch eine Vielzahl von Ätzparametern eingestellt und überwacht werden kann. Nach Beendigung des Ätzprozesses wird das Substrat zur Entfernung von Restfotoresist schnell erhitzt, so daß eine saubere Oberfläche zur weiteren Verarbeitung bereit bleibt. PLASMATHERM VLR verwendet eine parallele ECR-Plasmaquelle mit drei Quellen, um präzise Ätzbedingungen zu erreichen. Die enge Steuerung des ECR-Plasmas ermöglicht ein hochpräzises Ätzen tiefer Strukturen mit minimalem Krümmungsradius. Durch die Möglichkeit, die Ätzparameter auf das spezifische Verfahren und Substrat abzustimmen, kann der Anwender optimale Ätzergebnisse erzielen. VLR verfügt auch über eine Reihe anderer Prozessfähigkeiten wie Ätzselektivitätskontrolle, Substratbias, Deep Anneal und Plasma-Vorbehandlungen. Dadurch kann der Benutzer den Ätz- und Ascheprozess auf seine spezifischen Bedürfnisse abstimmen. PLASMATHERM VLR bietet auch ein integriertes Kühlwerkzeug, um Geräteschäden durch hohe Ätzraten zu reduzieren und optimale Ergebnisse für alle Anwendungen zu gewährleisten. Zusammenfassend ist VLR eine fortschrittliche Ätz- und Ascheanlage, die für die präzise Strukturierung und Verarbeitung einer Vielzahl von Substraten entwickelt wurde. Das Modell verwendet eine Kombination aus ECR-Plasmaquellen und fortschrittlichen thermischen Glühtechniken für beeindruckende Prozessgenauigkeit und Leistung. Darüber hinaus bietet das Gerät eine Reihe von Ätzgas- und Gaseinspritztechniken zur überlegenen Prozesssteuerung. Das integrierte Kühlsystem sorgt dafür, dass Geräte durch hohe Ätzraten nicht beschädigt werden. Mit seinem umfassenden Leistungsspektrum ist PLASMATHERM VLR das perfekte Werkzeug für hochwertiges Ätzen und Aschen.