Gebraucht PLASMATHERM VLR #9156983 zu verkaufen

PLASMATHERM VLR ist eine Ätz- und Aschemaschine für Anwendungen mit hohem Durchsatz, Präzisionsätzen und Reinigungsanwendungen. Das System verwendet eine innovative PlasmaPlusTM Technologie für einen fortschrittlichen Herstellungsprozess. Dieser Prozess kombiniert die Corona-Entladungs-Plasmaverfahren von Remote Plasma, Ionenstrahl und O2-glycol Prozess mit einem Sauerstoffplasmaverfahren, um die höchste Ätzauflösung und saubere Prozessergebnisse zu bieten. VLR-Einheit ist ideal für Produktionsanwendungen auf einer Vielzahl von Oberflächen und Substraten, einschließlich Glas, Metalle und Keramik. Die Maschine verfügt über eine benutzerfreundliche Benutzeroberfläche, die eine erweiterte Prozesssteuerung ermöglicht. Das On-Screen-Wandmenü ermöglicht den Zugriff auf mehrere Parameter und Funktionen und ein benutzerfreundlicher, touchsensitiver LCD-Touchscreen ermöglicht die einfache Ausführung von Bedienbefehlen. Das Tool verfügt über einen leistungsstarken automatisierten Rezepteditor, mit dem Benutzer Parameter für erfahrene Operatoren heruntertönen oder die Einstellungen für Ergebnisse aufdrehen können. Die Anlage besteht aus zwei Verbindungskammern, die ihre kombinierte Ätz-/Reinigungskammer bilden. Die erste Kammer ist die Ätzkammer, die aus zwei „Platten“, einer Bodenplatte und einer Deckplatte besteht. Die Bodenplatte ist mit einer verteilten Leitung von Gaseintrittsquellen verbunden und für die Zuführung der reaktiven Gasarten zur Substratoberfläche verantwortlich. Die Deckplatte ist mit Elektroden ausgestattet, die das Plasma an der Substratoberfläche erzeugen. Die zweite Kammer ist die Reinigungskammer, die mit Vorrichtungen und Düsen ausgestattet ist, um eine Vielzahl verschiedener Reinigungslösungen zu liefern. PLASMATHERM VLR-Modell verwendet eine fortschrittliche, energieeffiziente High-Density Plasma (HDP) -Quelle, um sicherzustellen, dass die reaktiven Spezies effizient an das Substrat geliefert werden und dass saubere und reproduzierbare Prozessergebnisse erzielt werden. Weitere erweiterte Funktionen sind Gaswechsel, automatisierter Rezepteditor, schnelle Prozesszeit und niedrige Betriebskosten. Insgesamt bieten VLR-Ätz- und Aschermaschinen eine leistungsstarke Lösung für fortschrittliche Ätz- und Reinigungsanwendungen in der Produktionsumgebung mit hohem Durchsatz. Die fortschrittlichen Plasmakonzepte und die energieeffiziente HDP-Quelltechnologie des Systems liefern überlegene Prozessergebnisse mit schneller Prozesszeit und geringen Betriebskosten. Die benutzerfreundliche Oberfläche, die intuitive Bedienung und der automatisierte Rezepteditor sorgen zudem dafür, dass höchste Ätzauflösung und saubere Prozessergebnisse schnell und einfach erzielt werden können.