Gebraucht PLASMATHERM VLR #9205768 zu verkaufen
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ID: 9205768
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 1996
Reactive Ion Etcher (RIE), 6"-8"
Wafer processing
LM / TM System
1996 vintage.
PLASMATHERM VLR ist eine hocheffiziente Ätz-/Aschemaschine für die Herstellung von Halbleitern und Wafern. Es ist mit einem Direktantrieb-Plasmagenerator ausgestattet, der bis zu 3.000 Watt Leistung erzeugen kann, mit der Fähigkeit, Temperaturen von bis zu 197 Grad Celsius zu erreichen. Das VLR-System wurde entwickelt, um Submikronätzen mit Präzision und Genauigkeit zu liefern und bietet ein außergewöhnlich sauberes Kantenprofil mit extrem hoher Gleichmäßigkeit und Ausbeute. PLASMATHERM VLR Unit verfügt über einen fortschrittlichen Chargenverarbeitungsregler sowie eine Umweltsteuereinheit (ECU), die eine präzise Temperatur- und Reinigungsregelung ermöglicht. VLR Machine bietet auch eine Vielzahl von Prozessoptionen wie Ultraniederspannungsätzen und 1000 Hz thermisches Strahlen für maximale Kontrolle des Prozesses. PLASMATHERM VLR-Werkzeug kann mit verschiedenen Arten von Materialien verwendet werden, einschließlich Kupfer, Aluminium und Triton 20 Material, so dass der Benutzer aus einer Vielzahl von Größen für die Kleinteile, die verarbeitet werden, wählen. Darüber hinaus unterstützt es das automatisierte Maskenschalten, was bei Bedarf eine schnelle und präzise Maskenschaltung ermöglicht. Die Anlage bietet zudem ein einzigartiges Dampfphasen-Ätzmodell, das eine Plasmabearbeitung von Polymer- und Oxidschichten sowie T-Sicherungsreaktionen ermöglicht. VLR Equipment verfügt auch über ein umfangreiches Sicherheitssystem, das eine Flammenfalle, Brandmeldung und Brandmelder umfasst. Alle Sicherheitsmaßnahmen stellen sicher, dass der Benutzer während der Benutzung des Geräts sicher ist. PLASMATHERM VLR Machine verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, die es ermöglicht, Prozessparameter leicht zu ändern, Chargen einzurichten, Rezepte auszuführen und den Ätzprozess zu überwachen. Für zusätzlichen Komfort kann das Tool mit einem Netzwerk verbunden werden, so dass es mit anderen Systemen kommunizieren kann. VLR Asset verfügt außerdem über ein Liquid Crystal Display (LCD), das eine einfache Überwachung des Prozesses beim Ätzen ermöglicht. Abschließend ist das PLASMATHERM VLR-Modell eine hocheffiziente und hochpräzise Ätz-/Aschermaschine für die Herstellung von Halbleitern und Wafern. Es ist mit einem Direktantrieb-Plasmagenerator, einem fortgeschrittenen Chargenverarbeitungsregler und einer Umweltsteuereinheit ausgestattet, die eine präzise Temperatur- und Reinigungsregelung ermöglicht. Es bietet auch eine Vielzahl von Prozessoptionen, einschließlich Ultra-Niederspannungsätzen und 1000 Hz thermisches Strahlen. Darüber hinaus ist das System mit Sicherheitsfunktionen wie einer Flammenfalle, Brandmeldung und Brandmeldern ausgestattet. Die intuitive grafische Benutzeroberfläche und das LCD-Display machen es einfach, den Prozess beim Ätzen zu überwachen.
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