Gebraucht PLASMATHERM VLR #9205771 zu verkaufen

PLASMATHERM VLR ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiter-, Optoelektronik- und Mikroelektronikindustrie. Diese vielseitige Maschine ist ideal für tiefes reaktives Ionenätzen (DRIE), Plasmaascher und andere Prozesse, die Präzisionsätzen und Aschen erfordern. Die Maschine basiert auf einer dreizonigen Konstruktion, die es ermöglicht, das Substrat in der ersten Zone mit gasförmigem Sauerstoff oder aktiviertem Stickstoff „vorbehandelt“ zu werden, um Oberflächenverunreinigungen zu entfernen und Oberflächenschäden zu verhindern. Die zweite Zone ist dazu ausgelegt, die in das Substrat eingeätzten Merkmale ausreichend zu schärfen. Die dritte Zone sorgt für eine inerte Atmosphäre und ermöglicht das Ätzen und Glühen im gleichen Ofen. Diese Maschine ist mit einem Mikrowellengenerator ausgestattet, mit dem das Plasmafeld erzeugt wird. Dies bietet eine viel höhere Präzision als herkömmliche Ascher, die HF (Hochfrequenz) -Technologie verwenden. Die Mikrowellenleistung kann geregelt werden, so dass die Prozessraten optimiert werden können. Dies bietet auch ein wirksames Sicherheitsmerkmal, bei dem die fehlende Fehlausrichtung des Substrats zu einer sofortigen Abschaltung führt. Die Maschine kann auch mit einem zusätzlichen Abhebekopf und einer Basisplatte ausgestattet werden, die ein Glühen in einer Vakuumumgebung ermöglicht - wesentlich für die Erzielung einer hohen Homogenität in Nickel und Gold. Die Grundplatte wird auch direkt beheizt, was eine höhere Temperaturgleichförmigkeit ermöglicht. VLR ist mit fortschrittlicher Software ausgestattet, die Benutzern die Möglichkeit gibt, alle Aspekte des Prozesses zu steuern und zu überwachen. Es ist auch mit einer Vielzahl von Gasen kompatibel, so dass es in vielen verschiedenen Ätz- und Ascheanwendungen verwendet werden kann. Diese Eigenschaften machen PLASMATHERM VLR eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Branchen, so dass Benutzer hohe Produktivität und Effizienz bei minimalem Aufwand zu gewinnen. Zudem ist die Maschine sehr zuverlässig und sorgt dafür, dass Prozesse vorhersehbar wiederholbar sind und Qualitätsergebnisse konstant erzielt werden. Dadurch wird sichergestellt, dass dieses vielseitige System eine gute Wahl für hohe Leistung und Genauigkeit ist.