Gebraucht PLASMATHERM VLR #9225837 zu verkaufen

PLASMATHERM VLR ist eine fortschrittliche Trockenätzausrüstung, die für eine hochgenaue Mikrobearbeitung mit der Fähigkeit entwickelt wurde, komplexe 3D-Muster zu ätzen. Das System basiert auf der industrienormalen reaktiven Ionenätztechnologie (RIE), die ein Hochspannungsplasma verwendet, um Zielmaterialien kontrolliert von einem Substrat zu entfernen. Es kombiniert hohe spektrale Helligkeit und hohe Leistungsdichte, um ultraschnelle Ätzraten mit sehr hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu erreichen. VLR besteht aus einem Hochfrequenz-Hochfrequenzgenerator (RF), einer Steuerungssoftware und einer Vakuumkammer mit zwei getrennten planaren Plasmaquellen. Diese planaren Plasmaquellen, die mit dem HF-Generator verbunden sind, sorgen für eine homogene Plasmaerzeugung und gewährleisten eine hohe Genauigkeit der Mikrobearbeitung von Teilen mit mehreren Merkmalen. PLASMATHERM VLR ist für die Vakuum- und Reaktivgaschemie auf eine breite Palette von Materialien zugeschnitten, darunter viele Strukturen mit hohem Seitenverhältnis. Es ist so konzipiert, dass es sowohl Oxid- als auch Nichtoxidätzen unterstützt, mit einer einstellbaren Vorspannung an der Mehrfachkammer, die eine hohe Selektivität für verschiedene Materialien erreichen kann. Diese Ätzmaschine kann auch Glüh-, Passivierungs- und Abscheideprozesse durchführen. Das Werkzeug unterstützt eine breite Palette von Leistungsdichten und sorgt für optimale Ätzparameter für verschiedene Geometrien. Es ist mit Echtzeitüberwachung ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Ätzprozessparameter ermöglicht. Die Software bietet auch eine benutzerfreundliche Oberfläche für die Rezeptentwicklung. VLR ist mit einem kleinen Fußabdruck entworfen und verwendet nicht korrosive Materialien, so dass es leicht an fast jede Laborumgebung anpassbar ist, einschließlich Reinräumen. Es ist auch völlig in sich geschlossen, so dass Installation und Routine-Wartung einfach durchzuführen. Insgesamt ist PLASMATHERM VLR eine ausgezeichnete Wahl für Anwendungen, die ständig hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit verlangen. Seine einzigartige Kombination von Eigenschaften macht es die perfekte Wahl für die Mikrobearbeitung anspruchsvolle Projekte schnell und präzise, mit wiederholbaren Ergebnissen.