Gebraucht PLASMATHERM VLR #9225838 zu verkaufen

PLASMATHERM VLR
Hersteller
PLASMATHERM
Modell
VLR
ID: 9225838
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1996
System, 6" LM / TM 1996 vintage.
PLASMATHERM VLR ist eine Ätz- und Aschemaschine, die von PLASMATHERM Applied Technology entwickelt wurde. Diese vielseitige Maschine wurde entwickelt, um eine breite Palette von Substraten unterzubringen, einschließlich Halbleiter, Mikroelektronik, Photovoltaik-Komponenten und vieles mehr. Es eignet sich für eine Vielzahl von Aufgaben, von einfach bis komplex, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu gewährleisten. VLR besteht aus mehreren Komponenten, darunter einer integrierten Gaskonsole (IGC), einer Gasverarbeitungskonsole (Gas Processing Console, GPC), einem automatischen Laden/Entladen und Ein- oder Mehrkammer-Prozesskammern. Die IGC beinhaltet ein digitales Display zur einfachen Bedienung des Systems und zur Einstellung des Gasflusses, das eine präzise Steuerung der Ätz-/Ascherezepte ermöglicht. Das GPC verwaltet den Gasfluss und den Druck und kann bis zu 15 Ätz-/Ascherezepte speichern. Die Maschine verwendet eine Kombination aus Plasmaätzen und Stickstoffaschen, die durch einen proprietären Mikrowellengenerator hoher Dichte ermöglicht wird. Dies ermöglicht wiederholbare Ergebnisse mit robuster Selektivität und scharfer Auflösung, während das Karussell ein schnelles Be- und Entladen der Substrate ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht die Ferndiagnosefähigkeit des Geräts eine schnelle Erkennung und Behebung von Betriebsanomalien. PLASMATHERM VLR ist eine anspruchsvolle Ätz-/Aschemaschine, die wiederholbare Ergebnisse bei konsistenter und zuverlässiger Leistung liefert. Sein benutzerfreundliches Design ermöglicht es den Betreibern, intuitiv mit dem Tool zu interagieren, und seine schnellen und effizienten Operationen helfen, Ausfallzeiten zu reduzieren und den Durchsatz zu erhöhen. Die Anlage ist eine gute Wahl für Halbleiterhersteller, die nach zuverlässigen Ätz- und Aschefunktionen suchen.
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