Gebraucht PLASMATHERM Waf'r Batch 74 #9050092 zu verkaufen

PLASMATHERM Waf'r Batch 74 ist ein Ätzer/Ascher-Gerät von Plasma Therm LLC. Es ist für das Präzisionsätzen und Aschen von sowohl < 200µm als auch > 200µm dicken Maskierungsschichten konzipiert. Das Chargensystem ist mit zwei Gasquellen ausgelegt, eine für Plasmaätzen und die andere für Ashing. Die Gasquellen werden von einem benutzerdefinierten Controller gesteuert, so dass einzelne oder mehrere Zyklusrezepte mit mehreren Drucksteuerungsoptionen möglich sind. Das Werkzeug verfügt über Pyrolytic Graphite (PG) -Kammern mit niedrigem Magnetfeld und einer robusten Heizkühleinheit. Das PG bietet eine optimale Vakuumumgebung und sorgt für hohe Prozessgleichmäßigkeit. Die Heizkühlmaschine sorgt dafür, dass die Temperatur innerhalb weniger Grad Celsius des Sollwertes über den Wafer gehalten wird. Das Batch-Tool ist modular aufgebaut und ermöglicht eine einfache Aktualisierung bei Prozessanforderungen. Es ist mit einer Hochgeschwindigkeitsladung und Entladung ausgestattet, um die Bearbeitungszeit zu reduzieren und ein fortschrittliches Vakuummodell für eine effektive Vakuumsteuerung und Prozessgenauigkeit. Es beherbergt einen Hochgeschwindigkeits-Encoder mit hoher Auflösung, um eine präzise Wafer-Positionierung und ein gleichmäßiges Ätzen und Aschen zu gewährleisten. Die von der Batch-Ausrüstung verwendete Software ist benutzerfreundlich und bietet dem Benutzer Optionen zum Speichern von Rezepten, verfügen über Remote-Zugriff und Netzwerkfunktionen für unterstützte Tools und Erstellen von Berichten. Das Chargensystem verfügt zudem über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen. Dazu gehören Notstopp, Verriegelungseinheit, Power Panel und Kühlmittelmaschine. Der Notstopp ermöglicht es dem Bediener, das Werkzeug im Notfall schnell zu stoppen. Das Verriegelungswerkzeug verhindert Bedienungsfehler und Fehlnutzung. Das Power Panel überwacht und steuert das Asset. Schließlich hilft das Kühlmittelmodell, die Temperaturen auf einem sicheren Niveau zu halten. Zusammenfassend lässt sich sagen, dass PLASMATHERM Waf'r Batch 74 ein zuverlässiges Ätzen und Veraschen von < 200 µm und > 200 µm dicken Maskierungsschichten mit ausgeklügelten und fortschrittlichen Systemen ermöglicht. Es ist ein sicheres und effizientes Werkzeug und macht es den Betreibern leicht, den Ätz- und Ascheprozess zu verwalten.