Gebraucht PLASMATHERM Wafer/Batch 740 #293595644 zu verkaufen
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PLASMATHERM Wafer/Batch 740 ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um die vielfältigen Anforderungen des Halbleiters und anderer Industrien zu erfüllen, die eine hochpräzise Prozesskontrolle erfordern. Es ist ein All-in-One-Ätz-/Aschersystem, das dem Anwender eine extrem hohe Genauigkeit beim Ätzen und Aschen von Substraten ermöglicht. Diese Einheit verwendet mehrere unabhängige Controller, die Ätz- und Ascheprozesse auf Präzisionsätzfähigkeit und Prozesswiederholbarkeit genau überwachen und steuern. Die Maschine beinhaltet eine unabhängige rezeptbasierte Steuerung für jede Ätz-/Waschkammer und eine automatische, wiederholbare Prozesssteuerung, da mehrere Kammern parallel laufen. Mit integrierten, interaktiven Softwaremodulen kann der Anwender das Ätzer/Asher-Tool an seine exakten Prozessanforderungen anpassen. Das Asset bietet erweiterte Diagnosen mit Ereignisprotokollierung und Prozessdatenspeicherung sowie leistungsstarke, sichere Zugriffskontrolle. Das Modell nutzt fortschrittliche mikrowellenverbesserte induktiv gekoppelte Plasmatechnologie, die qualitativ hochwertigste Ätz- und Ascheprozesse liefert, was zu einer möglichst geringen Kontamination des Substrats führt. Mit mehreren Plasmaquellen kann das Gerät in einem einheitlichen Prozess geätzt und geascht werden. Dieses System eignet sich gut für fortschrittliche Fertigungsanwendungen wie MEMS, Mikrofluidik und fortschrittliche Verpackungen. PLASMATHERM Wafer/Batch 740 nutzt eine Prozessüberwachung und Analyse-Suite, die es dem Anwender ermöglicht, Prozessparameter während der Verarbeitung des Wafers genau zu überwachen. Das Gerät verfügt über leistungsstarke automatische Kalibrier- und Reinigungsfunktionen. Die integrierte Sicherheits- und Ereigniskontrollmaschine sorgt für die Einhaltung strengster Sicherheits- und Prozessstandards. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine integrierte Werkzeugausrichtung und SCARA-Roboter-Forschungs- und Entwicklungsressourcen. Dieses Modell ist in der Lage, wiederholbare Ergebnisse und hochgenaue Vorrichtung zu produzieren. Es bietet schnelle, konsistente Abscheide- und Ätzprozesse sowie Unterstützung einer Reihe fortschrittlicher Fluss- und Metallisierungsprozesse. PLASMATHERM Wafer/Batch 740 erfüllt die Anforderungen der anspruchsvollsten Ätz- und Ascheanwendungen. Mit seinem äußerst flexiblen Design und integrierten Modulen ermöglicht es dem Anwender, hocheffiziente und kostengünstige Waferbearbeitungslösungen zu schaffen, die genau ihren Spezifikationen und Prozessanforderungen entsprechen. Diese Ausrüstung ist eine ideale Lösung für Halbleiter- und fortgeschrittene Fertigungsanwendungen.
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