Gebraucht POLARON PT7160 #293636654 zu verkaufen

POLARON PT7160 ist ein hochmoderner reaktiver Ionenätzer/Ascher zum präzisen Ätzen und Aschen sowohl dielektrischer als auch leitender Materialien. Es ist ein robuster, leistungsstarker Ätzer/Ascher mit einer breiten Palette von Prozessfähigkeiten. Das Gerät umfasst einen 300 MHz RF-Generator und ein Prozesssteuermodul, das eine präzise Einstellung sowohl des Kammerdrucks als auch der Ätz-/Ascheraten ermöglicht. Es verfügt über eine Quarzkammer und eine automatisierte Spiegelprobenentnahmetechnik zur präzisen Steuerung von Ätz- oder Ascheprofilen. PT7160 ist in der Lage, sowohl Standard- als auch Nicht-Standardsubstrate wie oxidierte Siliziumscheiben, Verbindungshalbleiter (III-V, II-VI und IV-VI), Phosphidverbindungen (GaAs, AlGaAs, InGaAs, und InP), Nit-Leit. Die Kammer ist für die Arbeit mit einer Vielzahl von Gasen, einschließlich Gemischen aus O2, CHF3, SF6 und H2, ausgelegt. Das System weist ferner einen Kammerdruckbereich von 1 bis 10 mTorr auf, der eine gute Selektivität, niedrige Ätzraten und präzise Ätz-/Ascheprofile ermöglicht. Die Ätz- und Ascheraten können auch mit einem Temperaturraumbereich von 10-900 ° C exakt eingestellt werden. POLARON PT7160 verfügt über eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit, wobei Ätz- und Ascheraten innerhalb von ± 5% gehalten werden. Darüber hinaus bietet das Gerät vielseitige Prozessfähigkeiten wie Mehrschichtätzen, Strukturieren, Oberflächenreinigung, Rückätzen, Graben und Profilieren. Die Maschine ist auch mit einer programmierbaren Mischung von Prozessgasen ausgestattet, um nahezu unbegrenzte Prozessfähigkeit zu bieten. Mit seiner präzisen Steuerung, erweiterten Funktionen und robustem Design ist PT7160 ein idealer Ätzer/Ascher für diejenigen, die eine präzise Kontrolle über das Ätz-/Ascheprofil suchen.