Gebraucht POLYFLOW S-314 #9378987 zu verkaufen
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POLYFLOW S-314 ist eine Ätz-/Aschemaschine für Mikrofertigungsprozesse. Es wurde entwickelt, um ein präzises Ätzen und Reinigen für eine Vielzahl fortschrittlicher Halbleiteraufgaben zu ermöglichen. Dieses System wurde speziell für die hohen Anforderungen moderner Produktionsprozesse entwickelt, was einen hohen Durchsatz, eine präzise Steuerung und maximale Flexibilität ermöglicht. S-314 ist mit einer Dreikammereinheit ausgestattet, die Ätz-, Asche- und Passivierungsvorgänge ermöglicht. Dieser Aufbau bietet einen effizienten und zuverlässigen Prozess für verschiedene Substratgrößen und Prozessschritte. Die kombinierte Gasverteilmaschine in diesen Kammern sorgt für ein einheitliches Prozessergebnis und das Werkzeug ist für jeden einzelnen Prozess anpassbar. POLYFLOW S-314 wird durch Präzisionsrobotik angetrieben und ermöglicht automatisierte Be- und Entladevorgänge mit Gelenkgenauigkeit und hohem Durchsatz. Dieser Aufbau unterstützt eine große Auswahl an Substraten und Materialien, darunter organischer Photoresist, Hartbackresist, Polyimide und Metalle. Die Proben können mit spezifischen Informationen wie Sputterparametern, Mustergröße, Prozesszeit und Prozessabfolge vorprogrammiert werden. Die Anlage ist für das Hochleistungsätzen und die Reinigung von Materialien auf Siliziumbasis und Nicht-Siliziumbasis konzipiert. Es ist mit gedrosselten Steuerventilen ausgestattet, die die Abgabe mehrerer Gase und die Auswahl von Parametern wie Druck, Durchfluss, Temperatur und Leistung ermöglichen. Die Prozessgrößen können auch auf kleinste Fraktionen eingestellt werden, um maximale Ausbeute und Leistung zu erzielen. Darüber hinaus verfügt S-314 über eine bedienerfreundliche Benutzeroberfläche, die einen einfachen Zugriff auf alle Modellfunktionen ermöglicht. Darüber hinaus verfügt POLYFLOW S-314 über eine dynamische Isolationsausrüstung zur Reduzierung prozessinduzierter Verschmutzungen sowie integrierte Sicherheitsmerkmale für mehr Zuverlässigkeit. Der Druck, das Vakuum, die Temperatur und andere Parameter des Systems werden in Echtzeit auf dem intuitiven Bedienfeld überwacht, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Das Gerät ist zudem aufgrund seines modularen Aufbaus für wartungsarme und bei Bedarf für den Austausch von Teilen ausgelegt. Insgesamt ist S-314 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für Mikrofertigungsprozesse entwickelt wurde. Das intelligente Design macht es zu einer effizienten und zuverlässigen Maschine zum hochpräzisen Ätzen und Reinigen verschiedener Materialien bei minimaler Wartung.
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