Gebraucht PSC DES-212-304AVL #9273101 zu verkaufen

PSC DES-212-304AVL
Hersteller
PSC
Modell
DES-212-304AVL
ID: 9273101
Wafergröße: 6"-8"
Asher, 6"-8".
PSC DES-212-304AVL ist eine Ätz-/Ascheausrüstung, die für die Herstellung fortschrittlicher elektronischer Materialien entwickelt wurde. Es ist ein schlüsselfertiges System, das Enthalten eines Typverarbeitungsraums Alcoa, vielseitiger PECVD-Gasliefereinheit, vielfacher Lastschlosssysteme, ein Oxyd-FET vorempfindliches Substrat vorsauberer Raum und eine Kassette-zu-Kassette-300-Mm-Arbeitsmaschine. Dieser Desktop-Ätzer ist mit einer offenen Architektur konzipiert, die eine einfache Integration bestehender oder zusätzlicher Prozesse ermöglicht. Das Werkzeug eignet sich für jedes Verfahren mit Resistätzen, chemischem oder thermischem Aschen, einschließlich Desmear, Strippen, Abscheiden sowie Legieren, Mischen und Mischen von Zusammensetzungen. Dieser Ätzer ist mit zwei kryogen gekühlten E-Strahlquellen ausgestattet - eine für die Entfernung, die andere für die Oberflächenvorbereitung. Die Verarbeitungskammer vom Typ Alcoa bietet eine ideale Umgebung zum Ätzen und Aschen. Die Kammer ist mit einem Innenkammerhohlraum aus rostfreiem Stahl sowie einer Quarzaußenwand ausgestattet, die gasundurchlässig ist und gleichzeitig eine effiziente Übertragung von kurzwelliger Infrarotstrahlung ermöglicht. Die Kammer verfügt auch über eine Keramikheizung in der Prozesszone, die eine unabhängige Temperaturregelung und eine gleichmäßige HF-Energiezufuhr in der gesamten Kammer gewährleistet. Die PECVD-Gaslieferanlage bietet Anwendern eine effiziente und genaue Möglichkeit, die Zusammensetzung, ionischen und thermischen Eigenschaften der Ätzatmosphäre zu steuern. Das Modell kann sowohl chargenweise als auch kontinuierlich mit der präzisen Steuerung verschiedener Gase und Materialien wie O2, N2 und Ar betrieben werden. Die vorempfindliche Substratvorreinigungskammer Oxide-FET gate bietet eine effiziente und zuverlässige Möglichkeit, organische Schichten und andere Verunreinigungen vor dem Ätzen von Substraten zu entfernen. PSC DES 212 304 AVL bietet eine ganze Kassette-zu-Kassette-300-Mm-Verarbeitungsanlage für die Oblatenreinigung, den Trockner und das Ätzen an. Das Bearbeitungssystem nutzt einen Sechs-Stationen-Förderer, um ein effizientes Be- und Entladen zu gewährleisten. Die Kammer verfügt über einen Aerosolschild, um Benutzer und Wafer vor Inhalation zu schützen. Das Gerät ist außerdem anpassbar, um mehrere Wafer-Handhabungsoptionen wie Klingenhandling, Messerhandhabung und Vakuumplattenspalten einzubeziehen. Insgesamt ist DES-212-304AVL ein leistungsfähiger und effizienter Desktop-Ätzer, ideal für die Herstellung sauberer, hochwertiger elektronischer Komponenten. Dieses Gerät bietet Anwendern Flexibilität und Vielseitigkeit beim Ätzen und Veraschen von Anwendungen und bietet gleichzeitig die zuverlässigste Leistung.
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