Gebraucht PSC DES-212 #9028317 zu verkaufen

PSC DES-212
Hersteller
PSC
Modell
DES-212
ID: 9028317
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1990
Asher, 6" 1990 vintage.
PSC DES-212 ist eine Ätz-/Aschemaschine, die für die physikalische Verarbeitung entwickelt wurde und eine hohe Produktivität im Nanometerbereich bietet. Es wird von einer Dual-Ätz-/Ascher-Zelle angetrieben, die kurze Zykluszeiten und erweiterte Kontrollen zur Erhöhung der Prozesswiederholbarkeit zur Folge hat. Es verfügt über einen leistungsstarken, 14kW RF-Generator mit sorgfältiger Impedanz und Pulssteuerung. DES-212 ist ein vielseitiges System, das eine Vielzahl von Materialien verarbeiten kann, von Polymeren bis zu Halbleiterscheiben. Die große Prozessfläche ermöglicht eine große Chargenverarbeitung und einen hohen Durchsatz. Das Gerät verfügt über Dual-Cell-Ätz- und -Ashing-Fähigkeiten und bietet sowohl Ätz- als auch Reinigungsfunktionen in derselben Maschine. Der Ätzprozess erzeugt mit einem Hochleistungs-HF-Generator ein Energiefeld, das chemische Reaktionen im Wafermaterial bewirkt, das Materialschicht für Schicht entfernt. Der Reinigungsprozess verwendet ein Sauerstoffplasma, um organische und metallische Verunreinigungen von der Waferoberfläche zu entfernen. PSC DES-212 ist ein computergesteuertes Tool mit einem leistungsstarken Prozesscontroller sowie Software zur Steuerung von Operationen wie Endpunkterkennung, Materialzuschnitt und Nacharbeit, Bestandsüberwachung und Datenanalyse. Es unterstützt eine Reihe von Prozessparametern wie Temperatur, Druck, Gasfluss, Leistung und Plasmaerzeugung. Das Modell ist aufgrund der erweiterten Steuerungen und Rückkopplungsschleifen in der Programmierung des Geräts zu hochpräzisen und wiederholbaren Ergebnissen in der Lage. Das System verfügt über einen integrierten Rezeptersteller und eine Bibliothek, die es ermöglicht, kundenspezifische Rezepte sowie vorprogrammierte Prozessrezepte für gängige Ätzprozesse zu erstellen. DES-212 bietet eine Vielzahl integrierter Sicherheitsfunktionen, darunter eine Regeleinheit mit geschlossenem Regelkreis, zweistufige Gasfunktionen und einen zusätzlichen Abgaswäscher. Die Maschine ist für einen sicheren und effizienten Betrieb mit der Möglichkeit konzipiert, mehrere Prozessparameter zu überwachen und Daten zu protokollieren, die später überprüft werden sollen. PSC DES-212 ist ein zuverlässiges, einfach zu bedienendes Ätz-/Ascherwerkzeug, das hochpräzise Ergebnisse liefert, die auf individuelle Prozessanforderungen zugeschnitten werden können. Es ist ein kostengünstiges Gut für jedes Labor und bietet eine hervorragende Plattform für mikro- und nanoskalige Ätz- und Reinigungsaufgaben.
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