Gebraucht PSC DES-212 #9198273 zu verkaufen

PSC DES-212
Hersteller
PSC
Modell
DES-212
ID: 9198273
Wafergröße: 6"
Ashers, 6".
PSC DES-212 Ätzer/Ascher ist eine vollautomatische Plasmaätz-/Aschemaschine, die entwickelt wurde, um präzise, zuverlässige und wiederholbare Plasmaätz- und Aschevorgänge bereitzustellen. Das System kombiniert die integrierte Hardware, Software und Services, die erforderlich sind, um einen hohen Durchsatz und eine überlegene Produktivität zu erreichen. Die vielseitige und flexible DES-212 Einheit verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche, einzigartige Algorithmen und leistungsstarke Hardware, um den Anforderungen fortschrittlicher Ätz- und Ashing-Anwendungen gerecht zu werden. Die Maschine kann ein optionales Hochspannungsnetzteil mit bis zu 30kV Leistung verwenden. Das Werkzeug schließt gestützten etching/ashing Raum eines einheitlichen PFPE, einen ätzenden Gasvertriebsvermögenswert, umschaltende Hochleistungsgasbestandteile, eine entfernte Plasmaquelle und ein einheitliches Gasauspuffmodell ein. Die Kammer bietet eine gleichmäßige Atmosphäre mit niedriger Temperaturanfälligkeit und außergewöhnlicher Ätzgleichförmigkeit. Die Kammer verfügt über einen großen Bereich für die Verarbeitung verschiedener Arten von Substraten. Die Kammer ist für eine einfache Wartung mit einem abnehmbaren Kammerfenster und einer abnehmbaren Tür zum Be- und Entladen von Substraten ausgelegt. Die entfernte Plasmaquelle des Geräts bietet eine extrem niedrige Hintergrundkontamination und die höchste Selektivität im Prozess. Eine Reihe von Funktionen zur Verwaltung von Parametern mit breitem Bereich gibt Benutzern die Möglichkeit, den Ätzprozess zu optimieren. Der Ätzer/Ascher verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, um es zu einem leistungsfähigen, effizienten und zuverlässigen System zu machen. Das Gerät umfasst eine Echtzeit-programmierbare Ätzrate und Ätzzeitsteuerung, mit der Benutzer Ätzraten und Parameter anpassen können, wenn sich die Prozessanforderungen ändern. Das Bedienfeld ist leicht zugänglich und bietet volle Kontrolle über Maschinenparameter und einfachen Zugriff auf die Rezeptauswahl. Das Tool enthält außerdem eine integrierte HF-Power/Matching-Komponente zur präzisen Optimierung und hervorragenden Wiederholbarkeit von Ätz-/Aschevorgängen. PSC DES-212 ist für beispiellose umfassende Sicherheit konzipiert, mit Sicherheitszertifizierung von UL, CE und RoHS. Das Modell verfügt auch über transportable Substrate, automatisierte Staubabscheidung und geringe Substratbelastung. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein integriertes Wärmebilduntersystem, das eine automatische Temperaturregelung ermöglicht. Die Einheit kann auch mit externen Quellen integriert werden, um ein Ätzmuster direkt auf ein Substrat zu drucken. DES-212 ist eine außergewöhnliche Ätz-/Aschermaschine, die entwickelt wurde, um den Anforderungen der heutigen präzisesten Ätz-/Ascheprozesse gerecht zu werden. Die Flexibilität und Fähigkeiten des Werkzeugs bieten eine hervorragende Präzision, Wiederholbarkeit und hohe Durchsatzfähigkeit, um anspruchsvolle Ätzanforderungen zu erfüllen.
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