Gebraucht PSC DES-304 #293616016 zu verkaufen

PSC DES-304 ist eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine für Oberflächenbehandlung und hochpräzise Ätzanwendungen. Es ist ein zweizoniges Hochvakuumsystem, das für eine Vielzahl von Prozessen wie Plasmaätzen, chemisches Ätzen, Naßätzen, Ätzen mit Katalysatoren, Tiefätzen, reaktives Ionenätzen, Aschen und Trockenätzen entwickelt wurde. Die Anlage ist mit einer Quarzprozesskammer und einer Hochvakuumpumpmaschine ausgestattet. Dieses wartungsarme Werkzeug bietet einen zuverlässigen und konsistenten Ätzprozess. Die Anlage umfasst den 304-1 RF Generator, bis zu Zwei-Zonen-Vakuumsysteme, von 6 „tiefen Plattformen bis zu 28“ tiefen, Zwei-Zonen-Vakuum-Ätzsystemen, Zwei-Zonen-Aschesystemen und Zwei-Zonen-Resistentfernungssystemen. Es verfügt über eine Prozesskammer mit einem 2 "(50,8) Quarzfenster und eine integrierte Prozesssteuerung, die für Ätzrate und anodische Stromsteuerung verwendet werden kann. DES-304 verfügt auch über automatische Frequenzabstimmungsfunktionen, die einfachere und zuverlässigere Prozesse ermöglichen. Der 304-1 RF Generator liefert bis zu 400W Strom in die Prozesskammer. Es ist in zwei Modellen erhältlich: Low-Power (0-20W) und High-Power (0-400W). Es ist auch mit einer separaten 60kV DC-Versorgung ausgestattet, die verwendet wird, um das Substrat während des Ätzens vorzuspannen. Das Modell enthält auch einen 45 ° CW Remote Viewing Port auf jeder Seite der Kammer, so dass die Probe direkt betrachtet werden kann und gleichzeitig die Integrität des Prozesses erhalten bleibt. Die Anlage ermöglicht eine direkte Steuerung der Ätzrate und ist mit verschiedenen Prozessgasen wie Fluor, Chlor, Stickstoff, Sauerstoff und Wasserstoff kompatibel. Es ist auch in der Lage, spezielle Prozesse wie Tiefätzen und reaktives Ionenätzen mit einem optional manuell einstellbaren Einspritzwinkel für eine bessere Prozesssteuerung. Darüber hinaus verfügt das System über einen umlaufenden Kühlkreislauf, um Bauteile bei längeren Ätzprozessen kühl zu halten. PSC DES-304 ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheinheit für hochpräzise Ätz- und Oberflächenbehandlungsanwendungen. Es verfügt über eine Zweizonenmaschine und wartungsarmen, zuverlässigen Prozessbetrieb. Das Tool bietet eine Vielzahl von Prozessfähigkeiten wie Ätzen, Tiefätzen, reaktives Ionenätzen und Aschen sowie direkte Prozesssteuerung für Ätzrate und anodischen Strom. Mit seinen umfangreichen Funktionen ist DES-304 ein vielseitiges Asset, das für vielfältige Ätz- und Veraschungsanforderungen geeignet ist.