Gebraucht PSK DAS 2000 #9276091 zu verkaufen

PSK DAS 2000
Hersteller
PSK
Modell
DAS 2000
ID: 9276091
Wafergröße: 8"
PR Stripper, 8" Cassette: (2) Stages MFC Process gas: (2) 4% H2/N2 500 sccm (2) O2 3SLM (2) N2 1000 sccm Purge gas: N2 FCIP: Microwave: ASTEX FI20160-1 Maximum output: 3.0 kW M/W Power head: ASTEX FI20162-1 ASTEX FI20162-3 Aligner: RA101A-010 PUMP: Pressure control: MKS 653B-2-50-2 Pressure gauge capacidense manometer: MKS 626A 2-Torr Power supply: Main power: AC, 208 V, 150 A, 3Φ, 60 Hz, 21700 VA, 60 FLA UPS Power AC, 208 V, 20 A, 1Φ, 60 Hz, 2080 VA, 10 FLA Transfer robot: RR701L 120-Z20-011 Robot controller: RRS701-RC420-SUCU Main PC MFC: AERA FC-D980C.
PSK DAS 2000 ist eine hocheffiziente Waferätz-/Aschemaschine für kleine bis mittlere Ätz- und Ascheanwendungen. Dieses System verfügt über ein verbessertes und verbesserbares Design mit neuen Funktionen wie größerer Prozesskontrolle, hochauflösender Bildgebung und einem einfachen Design für Benutzerfreundlichkeit. Die Einheit nutzt zwei dicht gekoppelte Kammern mit einer Transportbandkonstruktion für eine einfache Beladung. Die erste Kammer ist die Vorätz-/Voraschekammer, die den atomaren Sauerstoff liefert, der benötigt wird, um die Waferoberfläche vor dem Ätzen oder Aschen richtig vorzubereiten. Diese Kammer integriert eine fortschrittliche Hot-Walled HF Input Power Source, die Hochtemperatur- und Niederdruckbetrieb ermöglicht, überlegene Leistung und mehr Flexibilität als herkömmliche HF-Stromquellen zu liefern. Der zweite Raum ist das Plasmaätzen / Ashing Raum, der eine fortgeschrittene einzelne Unterdruckfrequenz, Mehrzielglühenentladungsstromquelle verwertet. Der integrierte Controller bietet eine einfach verständliche grafische Benutzeroberfläche mit Integrationsoptionen für die Bildschirmanzeige von Druck, Leistung und Temperaturmessungen. Diese Kammer bietet auch eine erhöhte Kontrolle von Ätz-/Ascheparametern wie Genauigkeit, Konformität und Passivierung. Die Maschine ist auch mit einem fortschrittlichen Bildaufnahmetool ausgestattet, mit dem Benutzer Ätzmuster aufzeichnen und sie für mehr Kontrolle und Wiederholbarkeit analysieren können. Darüber hinaus bietet das Asset überlegene Sicherheitsfunktionen wie ein programmierbares Alarmmodell und Prozessabbruchfunktion. Insgesamt ist PSK DAS-2000 eine äußerst effiziente und umfassende Ätz-/Aschermaschine, die eine höhere Prozesskontrolle und überlegene Ergebnisse als die Vorgänger bietet. Das intuitive Design der Systeme bietet schnellere Time-to-Results, während seine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche und leistungsstarke Funktionen es zu einer idealen Wahl für Labor- und Industrieätzen und -veraschen machen.
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