Gebraucht PSK DAS III #9243656 zu verkaufen

PSK DAS III ist ein leistungsstarker Ascher/Ätzer, der die vollständige Kontrolle über Ätz- und Ascheprozesse bietet. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von benutzerdefinierten Prozessen von Standard-Photolithographie-Ätzen bis hin zu fortschrittlichem Sputtern und reaktivem Ionenätzen zu produzieren. DAS III nutzt zwei Wärmequellen, um eine präzise Regelung und Steuerung jedes Ätzprozesses zu ermöglichen, was eine konsistente Ergebnisausgabe mit minimalen Substratschäden ermöglicht. Die Anlage ist für bis zu dreidimensionale Strukturierung ausgelegt und verfügt über eine hohe Vakuumfähigkeit, wodurch Ätzprozesse ohne Verschmutzung durchgeführt werden können. Das System verfügt auch über eine Hochleistungs-Scan-Maske, die das zu ätzende Muster genau definieren kann, einschließlich etwaiger Unregelmäßigkeiten in dem Muster, das PSK DAS III erkennen und kompensieren kann. DAS III beinhaltet eine Mehrzonenkammerkonstruktion, die es ermöglicht, verschiedene Prozessbereiche der Ätzkammer auf unterschiedliche Temperaturen abzustimmen, wodurch präzise geformte Ätzungen und gleichmäßige Ätztiefen möglich sind. Programmierbare Verriegelungen sorgen dafür, dass Verarbeitungsparameter wie Gasdruck, Temperatur und Durchfluss in optimalen Bereichen bleiben. Darüber hinaus bietet eine integrierte Kassettenbibliothek einen organisierten Zugang zu Werkstücken und ermöglicht ein effizientes Be- und Entladen von Proben in der Ätzkammer ohne Verschmutzung. Die Kammer wird auf maximal 200 ° C temperiert, was hohe Ätzraten ermöglicht, ohne wärmeempfindliche Substrate zu beschädigen. Das Gerät verfügt auch über integrierte Diagnosesysteme, wie Echtzeit-Datenerfassung und Parameterüberwachungssoftware, die Bediener bei der optimalen Bedienung der Maschine unterstützen. PSK DAS III beinhaltet auch eine laborspezifische Schnittstelle, die die Kompatibilität mit Laborprozessen und Datenerfassung ermöglicht. Mit seiner zuverlässigen, benutzerfreundlichen Leistung bietet DAS III eine hervorragende Kontrolle über Ihren Ätzprozess.