Gebraucht PSK Evolite 2 #9259698 zu verkaufen

Hersteller
PSK
Modell
Evolite 2
ID: 9259698
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
Asher, 12" EFEM 2011 vintage.
PSK Evolite 2 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der von der PASS Equipment Korn Field GmbH entwickelt wurde. Es ist ein hocheffizientes und energiesparendes Ätz- und Aschesystem, das für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden kann. Es verwendet die neueste PECVD-Technologie oder Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, um den Ätz- oder Ascheprozess zu erstellen. Diese Technologie ist eine der effizientesten und kostengünstigsten Methoden, um Substrate zu ätzen, da sie weniger Leistung erfordert als herkömmliche Ätz- und Aschemethoden. Evolite 2 hat einen modularen Aufbau, der je nach Anwendung angepasst werden kann, sowie einen PECVD-Kopf zur Steuerung des Ätzprozesses. Es wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Substraten wie Silizium, Galliumarsenid und Metalloxide zu ätzen und zu aschen. Der Ätz- und Ascheprozess kann mit einer Vielzahl von Parametern wie Druck, Temperatur und Plasma-Ionen-Dichte gesteuert und optimiert werden. Dieses Maß an Kontrolle und Optimierung stellt sicher, dass mit jedem Ätz-/Ascheprozess das beste Substratergebnis erzielt wird. PSK Evolite 2 verfügt auch über eine fortschrittliche Kammerreinigungseinheit, die die Sauberkeit der Prozesskammer und ihrer Umgebung aufrechterhält. Dadurch werden alle Prozessparameter für optimale Ätz- und Ascheergebnisse eingehalten. Die saubere Kammer verbessert auch die Prozesswiederholbarkeit und Zuverlässigkeit, was bedeutet, dass jede Substratcharge, die mit dem gleichen Rezept verarbeitet wird, konsistente Ergebnisse hat. Darüber hinaus verfügt Evolite 2 über eine zusätzliche Kühlmaschine, um eine übermäßige thermische Schädigung der beim Ätzen/Aschen anfallenden Wärme zu verhindern. Das Kühlwerkzeug trägt auch dazu bei, den Ätz-/Ascheprozess auch bei steigender Umgebungstemperatur aufrechtzuerhalten und bei einem Unfall eine zusätzliche Sicherheit zu gewährleisten. Schließlich enthält PSK Evolite 2 auch eine Wärmebildkamera, die Echtzeitbilder der Prozesskammer liefert. Dies trägt dazu bei, dass die Prozessparameter bei jedem Ätz-/Ascheprozess korrekt eingestellt und überwacht werden. Insgesamt ist Evolite 2 ein hochmodernes Ätz-/Aschegut, das effiziente und konsistente Ergebnisse liefert. Es bietet eine große Vielseitigkeit, da es an die Anforderungen einer Vielzahl von Anwendungen angepasst werden kann, sowie die Möglichkeit, den Ätz-/Ascheprozess in Echtzeit mit der Wärmebildkamera zu überwachen. Damit ist es die ideale Wahl für das Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Substraten.
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