Gebraucht PSK Supra III #9281480 zu verkaufen

PSK Supra III ist ein Ätzer/Ascher, der für den Einsatz in automatisierten Halbleiterverarbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Es ist eine Hochgeschwindigkeits-, Hochdruck-, kostengünstige Ätz-/Aschelösung. Die Anlage besteht aus einem integrierten vertikalen Rohrofen, einer Mehrzonen-Heißzone, einer rotierenden Planetenätzkammer und einer automatisierten Prozesssteuerungsschnittstelle. Dieses System ermöglicht eine präzise Steuerung der Ätz-/Ascheprozesstemperatur und -zeit. Der vertikale Rohrofen weist einen Hohlraum von 33,5 Zoll Durchmesser auf und kann eine maximale Temperatur von 1220 ° C erreichen. Der Ofen weist eine innere Heizzone auf, um das gesamte Prozessrohr gleichmäßig zu erwärmen. Die heiße Zone besteht aus drei Zonen mit einstellbarer elektrischer Energiezufuhr und unabhängiger Temperaturregelung. Die heiße Zone besteht aus einer unteren Zone, einer Zwischenzone und einer oberen Zone. Die heiße Zone sorgt für eine gleichmäßige Temperaturverteilung im gesamten Bearbeitungsrohr. Die rotierende Planetenätzkammer ist für ein optimales Ätz-/Ascheprofil ausgelegt. Die Kammer besteht aus einer rotierenden Scheibe, die verschiedene Substrathalter hält, mit Drehzahlen bis 13,5 U/min rotiert und bei Drücken bis 303 mBar arbeiten kann. Die Kammer umfasst eine automatische Einheit von temperaturgesteuerten Duschen, die zur weiteren Gleichmäßigkeit des Ätz-/Ascheprofils eingesetzt werden kann. Supra III beinhaltet eine vollautomatische Prozesssteuerungsschnittstelle zur vollständigen Steuerung des Ätz-/Ascheprozesses. Die Schnittstelle ermöglicht einstellbare Parameter wie Vorkonditionierungstemperatur, Ätz-/Aschezeit, Gefäßdruck, Scheibendrehzahl, Duschtemperatur und andere einzustellende Parameter. Darüber hinaus bietet die Schnittstelle einen umfassenden Überblick über den Prozess mit verschiedenen Anzeigemöglichkeiten. Die Schnittstelle bietet auch Echtzeitüberwachung und kann verwendet werden, um Online-Berichte zu generieren. PSK Supra III ist eine ideale Ätz-/Aschelösung für die Hochdurchsatzautomatisierung. Es bietet konsistente, zuverlässige Leistung in einer automatisierten Umgebung. Durch eine präzise Steuerung der Prozesstemperatur und -zeit ermöglicht die Maschine eine wiederholbare Ätz-/Ascheleistung. Die Flexibilität des Werkzeugs macht es für eine Vielzahl von Ätz-/Ascheprozessen geeignet.