Gebraucht PSK TERA 21 #9259689 zu verkaufen
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ID: 9259689
Asher, 12"
(2) Chambers
EFEM
Transfer Module (TM)
Process Module (PM)
AC Rack
Cables
2004 vintage.
PSK TERA 21 ist einer der fortschrittlichsten Ätzer/Asche auf dem Markt. Es ist eine innovative Lösung für den chemischen Ätz- und Ascheprozess zur Entwicklung feiner und ultrafeiner Merkmale. Dieses Gerät ist in der Lage, große Volumen mit einem kleinen Platzbedarf zu produzieren. TERA 21 ist mit einer breiten Palette von anpassungsfähigen Prozessverbesserungsmerkmalen wie hoher thermischer Stabilität, Hochgeschwindigkeitsätzen und Aschen mit präziser Druck- und Temperaturregelung ausgestattet und bietet eine zuverlässige Möglichkeit, schnelle Zykluszeiten und wiederholbare Ergebnisse zu erzielen. Das System verfügt über eine spannungsfreie Vakuum-Ofen-Kammer-Design und Multi-Zone-Temperaturregelung, die Ätz- und Aschenmaterialien mit Präzision und Genauigkeit. Alle Einstellungen, Parameter, Rezepte und Prozesse können in wenigen Minuten für zuverlässiges und effizientes Ätzen vorgegeben und wiederverwendet werden. Das Gerät verwendet Inertgasrückfüllung und hohe Temperatur, um Oxidation und Kontamination der geätzten Oberfläche zu verhindern. Der Ätzer/Ascher verwendet eine spezielle Gaswaschmaschine, um zu verhindern, dass stark oxidierte Partikel aus der Heizkammer austreten. PSK TERA 21 ermöglicht ultrafeine Selektivität, die für die Verarbeitung der heutigen komplexen mikrogroßen ICs entscheidend ist. Es unterstützt eine breite Palette von verschiedenen Materialien einschließlich Hochtemperatur-Legierung, TiN/TiWN, Au/Ti, Al/Ti und andere Edelmetalle. Die Fähigkeit, bei hohen Temperaturen zu arbeiten, ermöglicht die Verarbeitung von hochgradigen, tiefen und/oder schmalen Strukturen und komplexen 3D-Mikrostrukturen. Das Tool verfügt über eingebettete Controller, Betriebssoftware und Timer, die die vollständige Automatisierung des Ätzprozesses ermöglichen. Dieses Asset ist für einfache Bedienung und Wartung konzipiert und kann mit einem Netzwerk zur Überwachung und Verarbeitung der Datenübertragung verbunden werden. TERA 21 ist in der Lage, wiederholbare Ergebnisse mit hohem Zyklus zu erzielen, was es zu einer idealen Wahl für Forschung und Produktion macht und eine maximale Ätzfähigkeit und Präzision für die erfolgreiche Entwicklung feiner und ultrafeiner Merkmale bietet.
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