Gebraucht PSK TERA 21 #9270662 zu verkaufen

PSK TERA 21 ist ein Ätzer/Ascher, der das präzise Ätzen und Aschen von Halbleitermaterialien ermöglicht. Es ist eine computergesteuerte Ausrüstung, die eine breite Palette von Prozessfähigkeiten bietet, einschließlich Selektivität, hohe Genauigkeit, Niederdruckätzen und vertiefter Plasmaveraschung. Es wurde speziell entwickelt, um den Anforderungen der fortschrittlichen Halbleiterherstellung gerecht zu werden. Das System ist mit einem 13.56MHz Sender und 30MHz-400MHz Empfangsantenne ausgestattet. Dies liefert die notwendige HF-Leistung, um das Material auf dem Substrat zu ätzen. Die Antenne dient auch als Empfänger und liefert ein Ausgangssignal, das zur Überwachung der Ätzreaktion dient. Der Ätzprozess wird über die PC/SC-basierte Software überwacht und gesteuert, mit der die Ätzparameter auf das gewünschte Ergebnis eingestellt werden können. Das Gerät verfügt über eine unabhängige Plasmaquelle, die Ätzselektivität und Prozessoptimierung ermöglicht. Es ist auch mit einer unabhängigen Gasfördermaschine ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Ätzmedien ermöglicht. Das Werkzeug verfügt zudem über eine integrierte Belastungssperre, die eine bidirektionale Belastung der Probe und eine Verkürzung der gesamten Zykluszeit ermöglicht. Das Asset verfügt über ein automatisiertes Prozessüberwachungsmodell, das Prozessdrifts erkennen kann, bevor sie ernst werden. Dies sorgt für Prozesskonsistenz und Zuverlässigkeit. Das integrierte Ladegerät ermöglicht schnelle Waferübertragungen zwischen Prozessstufen und die manuelle Steuerung ermöglicht eine größere Flexibilität für den manuellen Betrieb. Das System ist in der Lage, Ätzprozesse bei Drücken bis zu 1mTorr durchzuführen. Dadurch kann das Gerät auch die empfindlichsten Materialien mit minimaler Verzerrung ätzen, wodurch hochpräzise Ätzergebnisse gewährleistet werden. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine integrierte Prozessüberprüfungsfunktion, die die Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit der Prozesse gewährleistet. Insgesamt ist TERA 21 ein idealer Ätzer/Ascher für die Halbleiterherstellung und bietet Präzisionsätzen, Aschen und vertiefende Plasmabearbeitung. Seine Kombination aus fortschrittlichen Eigenschaften, Benutzerfreundlichkeit und Zuverlässigkeit machen es zu einer ausgezeichneten Option für Präzisionsätzen und Aschen von Halbleitermaterialien.