Gebraucht PSK TERA 21S #9241274 zu verkaufen

PSK TERA 21S ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher von PSK Technologies. Es ist für die Verarbeitung von High-End-Wafern und anderen dünnen Materialien wie Siliziumdioxid und Polyimid konzipiert. Sie eignet sich besonders für Anwendungen mit modernster Halbleiterherstellung, MEMS und Mikrosystemen. Das Gerät verfügt über eine SPS-Schnittstelle (Programmable Logic Controller) zur einfachen Integration in eine Vielzahl von Automatisierungssystemen. TERA 21S ist für die Bearbeitung von Substraten auf Produktionsebene in den Abmessungen 200mm und 300mm Wafer konzipiert. Es verwendet einen linearen Scan mit gestaffelten Schritten zur gleichmäßigen Verteilung von Ätzasche über das Substrat. Ein automatischer Pre-Aligner ermöglicht eine wiederholbare Ausrichtung von Position und Orientierung für alle Chargen. Eine Multi-Zinn-berührungslose, gasfreie Plasmaquelle sorgt für gleichmäßige Ätz-/Ascheabscheidungsbedingungen über den Wafer. Das System ist auch mit einer fünfstufigen sequentiellen Abschalteinheit ausgestattet, um sicherzustellen, dass zuverlässige elektrische Eigenschaften beibehalten werden. PSK TERA 21S ist gut geeignet für den Einsatz in einem kontinuierlichen Batch-Verarbeitungsszenario. Es hat mehrere Merkmale wie einstellbare Prozessraten, chlorfreie NF-Chemie und Plasmabogenschweißen (PAW) Fähigkeiten. Es verfügt auch über eine Online-Messfähigkeit, die eine Echtzeit-Anpassung von Prozessparametern ermöglicht. Dies ermöglicht eine schnelle und einfache Kalibrierung der Maschine für optimale Ergebnisse. TERA 21S umfasst auch einen Hochdurchsatz-Handlingroboter, der für schnelles und präzises Be- und Entladen von Substraten konzipiert ist. Dieser Roboter verfügt über ein mustererkennungsbasiertes Bewegungswerkzeug, das Zeit spart und Fehler reduziert. Der Roboter verfügt zudem über einen aktiven Metallionen-Filter, der für hochwertige Ätz-/Ascheergebnisse sorgt. Die Anlage verfügt auch über Hochtemperaturfähigkeiten mit einem Temperaturbereich von -20 bis + 250 ° C. PSK TERA 21S ist voll kompatibel mit ISO-9002 und SANTON-Zertifizierung, um qualitativ hochwertige Ätz-/Ascheergebnisse zu gewährleisten. Mit seiner schnellen Laufzeit, der konfigurierbaren programmierbaren Logik, einem automatisierten Pre-Aligner und seiner berührungslosen, gasfreien Plasmaquelle ist das Modell eine ideale Wahl für das hochpräzise Ätzen/Aschen von Wafern und anderen dünnen Materialien.