Gebraucht PVA 1266 #293801189 zu verkaufen

PVA 1266 ist ein vielseitiges reaktives Ionenätzgerät (RIE) oder Plasmaaschergerät für Halbleiterherstellung und Forschungsanwendungen. Diese moderne Ausrüstung bietet eine präzise Kontrolle über den Ätz- oder Ascheprozess und eignet sich somit ideal für die Strukturierung, Reinigung und Oberflächenmodifizierung verschiedener Materialien wie Silizium, Siliziumdioxid, Metalle und dielektrische Folien. 1266 ist mit innovativen Funktionen ausgestattet, die ein leistungsstarkes Ätzen/Veraschen bei niedrigen Betriebskosten und benutzerfreundlichem Betrieb gewährleisten. PVA 1266 Ätzer/Ascher arbeitet nach dem Prinzip des Plasmaätzens, wobei hochreaktive Ionen und Radikale in einer Niederdruckgasumgebung erzeugt werden, um Material selektiv von einem Substrat zu entfernen. Dieser Prozess wird durch die Einstellung von Parametern wie Gasflussraten, HF-Leistung, Druck und Temperatur gesteuert, um die gewünschte Ätzrate, Selektivität und Profil zu erreichen. Das System besteht aus einer Vakuumkammer, einem HF-Generator, einer Gasfördereinheit und einer fortschrittlichen Prozesssteuerungssoftware, um eine präzise Prozesssteuerung und -überwachung zu ermöglichen. Eines der Hauptmerkmale von 1266 Maschine ist seine Dual-Mode-Betriebsfähigkeit, so dass Benutzer zwischen RIE und Plasma-Aschermodus leicht wechseln können. Im RIE-Modus entfernt das Werkzeug effizient Material durch physikalische Beschießung von Ionen, während es im Aschermodus organische Verunreinigungen und Rückstände durch chemische Reaktionen mit reaktiven Radikalen effektiv entfernt. Durch diese Flexibilität eignet sich PVA 1266 für ein breites Anwendungsspektrum, von der tiefenreaktiven Ionenätzung (DRIE) für die MEMS-Fertigung bis hin zum Photoresist-Strippen und der Oberflächenreinigung. 1266 Asset bietet eine Reihe von gaschemischen Optionen, um spezifische Verarbeitungsanforderungen zu erfüllen, einschließlich Fluor-basierte Gase für Siliziumätzen, Sauerstoff für Photoresist Strippen und Chlor-basierte Gase für Metallätzen. Das Gasfördermodell ist mit Massendurchflussreglern ausgestattet, um die Strömungsgeschwindigkeiten verschiedener Gase genau zu steuern und so gleichmäßige und reproduzierbare Ätz-/Ascheergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt die Ausrüstung über einen eingebauten Gaswäscher, um giftige oder korrosive Nebenprodukte, die bei der Verarbeitung entstehen, sicher zu entfernen. Um die Prozesssicherheit und Wiederholbarkeit zu verbessern, ist das PVA 1266-System mit fortschrittlichen Funktionen zur Prozessüberwachung und -kontrolle ausgestattet. Echtzeit-Endpunktdetektionsalgorithmen ermöglichen eine genaue Prozessbeendigung basierend auf benutzerdefinierten Kriterien wie optischen Emissionsspektroskopiesignalen oder Druckänderungen. Das Gerät verfügt auch über automatisierte Prozessrezeptverwaltung, Datenprotokollierung und Ferndiagnosefunktionen, um den Betrieb und die Fehlerbehebung zu optimieren. Abschließend ist 1266 eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine, die beispiellose Leistung, Vielseitigkeit und Zuverlässigkeit für anspruchsvolle Halbleiterherstellungs- und Forschungsanwendungen bietet. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen, dem Dual-Mode-Betrieb, der präzisen Prozesssteuerung und der benutzerfreundlichen Oberfläche ist das PVA 1266-Tool ein wesentliches Werkzeug, um qualitativ hochwertige Ätz- und Veraschungsergebnisse kostengünstig und effizient zu erzielen.