Gebraucht PVA 650 #293804324 zu verkaufen

PVA 650 ist ein Ätzer/Ascher, der von Plasma-Therm, einem weltweit führenden Unternehmen in der Hochpräzisions-Hochfrequenz- (HF) -Leistungstechnologie, entwickelt wurde. Es ist für eine Vielzahl von Substratmaterialien ausgelegt. 650 eignet sich am besten für Substrate in der Größe von Einzelwerkzeug bis Vollwafer und wurde für Front-End-of-Line (FEOL) - und Back-End-of-Line (BEOL) -Prozesse optimiert. PVA 650 ist eine mittlere Mikroätzausrüstung mit einer Kammer, die 51,2 in x 51,2 in x 43 in (LxBxH) misst. Das fortschrittliche Vakuumsystem, Kammern aus Edelstahl und keramischen Materialien und eingebaute Touchscreen-Steuerungen machen es zu einer optimalen Wahl für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen. Das Gerät hat eine typische Grunddrucknote von 6 x 10-7 Torr und die Technologie, um hohe Prozesstemperaturen (bis 540 ° C) aufrecht zu erhalten. 650 verwendet eine induktiv gekoppelte Hochfrequenztechnologie, um eine Plasmaumgebung für hoch kontrollierte, effiziente Ätz- und Ascheprozesse zu erzeugen. Es verwendet Heißkathoden- und „kalte“ Massenstromregler, um die Plasma- und Ätzgase präzise zu steuern. PVA 650 ist außerdem mit einem bipolaren Netzteil ausgestattet, das es ermöglicht, unabhängige positive und negative Leistungsstufen zu erzeugen, um Ätzanwendungen zu unterstützen. Die fortschrittlichen Funktionen von 650 ermöglichen eine hervorragende Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit. Der programmierbare Duschkopf der Maschine kann zur vollständigen Abdeckung auch komplexer Substrate verwendet werden. Seine rotierende Elektrode stellt das hochfrequente elektrische Feld und die Impulsleistung zur präzisen Anpassung der Ätzraten ein. PVA 650 verfügt außerdem über eine automatische Nachfüllung, die eine minimale Interaktion des Bedieners ermöglicht und unterbrechungsfreie Ätz- und Aschevorgänge für längere Laufzeiten ermöglicht, wobei die Zykluszeiten je nach Prozessart zwischen 30 Sekunden und mehreren Stunden liegen. 650 ist auch für langfristigen Betrieb und Leistung gebaut. Das Werkzeug ist für eine enge Dimensionsstabilität ausgelegt und nutzt aufkommende Sicherheitsmerkmale wie ein Stickstoffspülmittel, fortgeschrittene Schlösser und eine schnell öffnende Kammerluke für die Bedienersicherheit. Insgesamt ist PVA 650 eine ausgezeichnete Wahl für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen. Die fortschrittlichen Eigenschaften, die robuste Technologie und die sichergestellte Prozesswiederholbarkeit machen es zu einer idealen Wahl für diejenigen, die eine präzise Prozesskontrolle und langfristige Zuverlässigkeit benötigen.