Gebraucht PVA 650 #293804899 zu verkaufen
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ID: 293804899
Weinlese: 2012
Conformal coating machine
Brushless DC Servo motor
Work area: 500 mm x 500 mm x 100 mm (19.68" x 19.68" x 3.94")
Travel speed: 0 to 700 mm/sec (0 to 27.6 in/sec)
Repeatability: 0.025 mm (0.001)
Resolution: 0.015 mm (0.0006)
Air requirements: 80 psi
Conveyor speed: Up to 80 ft/min (24.4 m/min)
Operator interface: LCD Screen with function keys
Conveyor process flow:
Programable right to left / left to right
Power supply: 120V, 220 V, +/-10%, 50-60 Hz
2012 vintage.
PVA 650 ist ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher für den Einsatz in der Halbleiterverarbeitung. Es verfügt über eine leistungsstarke vorgelagerte Gasförderausrüstung und eine hochpräzise Plasmakammer mit niedriger Ablation. Die Ätzkammer kann eine Vielzahl von Temperatur-, Druck- und Ätzchemien handhaben, wodurch sie für eine Reihe von Halbleiteranwendungen geeignet ist. Die isolierte Plasmakammer 650 ist für die Langzeitstabilität von Gasfluss, Druck und Temperatur ausgelegt und bietet einen äußerst zuverlässigen Ätzprozess. Um eine präzise Steuerung der Ätzparameter zu gewährleisten, enthält PVA 650 optionale Echtzeitdruck- und Temperaturregelungen. Das vorgeschaltete Gasfördersystem ist in der Lage, gleichzeitig bis zu fünf Prozessgase zu mischen, wodurch eine Vielzahl von Ätzchemien eingesetzt werden kann. Mit der patentierten Kristallätztechnologie von 650 können Ätztiefen von bis zu 500 Nanometern erreicht werden. Die Gleichmäßigkeit des Ätzens durch PVA 650 ist ihre größte Stärke, da sie Mikrodefekte minimiert und konstant hochwertige Ergebnisse liefert. Die Gesamteinheit ist einfach zu bedienen und erfordert eine minimale Wartung, so dass sie für die Serienproduktion geeignet ist. Die Einstellung von Prozessparametern wird durch zwei intuitive Touchscreens erleichtert. Zudem ist die Maschine kompatibel zu Standard-Vakuumsystemen, was die Wartungskosten weiter senkt. Wenn möglich, optimiert 650 die Ätzparameter automatisch und befreit die Bediener von mühsamen manuellen Berechnungen. PVA 650 hat eine überlegene Geschwindigkeit im Vergleich zu vergleichbaren Trockenätzern mit einer High-End-Ätzrate von 70 Nanometern pro Minute und einem Durchsatz von 35 Wafern pro Stunde. Dieser hohe Durchsatz in Kombination mit zuverlässigen Ätzergebnissen macht 650 zu einem der am besten geeigneten Ätz- und Ascherwerkzeuge auf dem Markt für heutige Halbleiteranwendungen.
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