Gebraucht PVA TEPLA 300 #293765891 zu verkaufen

PVA TEPLA 300
Hersteller
PVA TEPLA
Modell
300
ID: 293765891
Wafergröße: 6"
Plasma asher, 6".
PVA TEPLA 300 ist ein Hochleistungsplasma asher/etcher Ausrüstung, die für die Präzisionsreinigung, die Oberflächenänderung und das Ätzen von Prozessen in Halbleiter, MEMS (Mikroelektromechanische Systeme), und andere fortgeschrittene Technologieindustrien entworfen ist. Das System nutzt fortschrittliche Plasmatechnologie, um präzise und einheitliche Verarbeitungsfunktionen für eine breite Palette von Materialien, einschließlich Silizium, Glas, Metalle und Polymere, bereitzustellen. 300 verfügt über einen robusten und zuverlässigen HF-Plasmagenerator, der in der Lage ist, eine hochgleichmäßige und stabile Plasmaentladung zu erzeugen. Mit dieser Plasmaentladung werden chemische Reaktionen auf der Oberfläche der zu bearbeitenden Probe bewirkt, die ein präzises Ätzen, Reinigen oder Modifizieren des Materials ermöglichen. Das Gerät ist mit einer Vielzahl von Gas-Handling-Funktionen ausgestattet, so dass Benutzer die Prozessgaszusammensetzung und die Durchflussraten anpassen können, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Eines der Hauptmerkmale von PVA TEPLA 300 ist die fortschrittliche Prozesssteuerung. Die Maschine ist mit einer benutzerfreundlichen Schnittstelle ausgestattet, die es dem Bediener ermöglicht, Prozessparameter wie Gasdurchflussraten, Kammerdruck und HF-Leistungspegel einfach zu programmieren und zu überwachen. Diese Steuerung ermöglicht eine präzise Abstimmung des Plasmaprozesses, um die gewünschte Ätzrate, Selektivität und Oberflächengüte zu erreichen. Darüber hinaus ist das Werkzeug in der Lage, sowohl isotrope als auch anisotrope Ätzprozesse durchzuführen und bietet Flexibilität für eine Vielzahl von Anwendungen. 300 ist mit Sicherheit und Leichtigkeit der Wartung im Auge. Die Anlage verfügt über mehrere Sicherheitsverriegelungen, um die Exposition des Bedieners gegenüber der Plasmaentladung und toxischen Prozessgasen zu verhindern. Darüber hinaus ist das Modell mit Materialien konstruiert, die gegen die korrosiven Auswirkungen der Plasmabearbeitung beständig sind und langfristige Zuverlässigkeit und Leistung gewährleisten. Das Gerät ist auch mit Ferndiagnosefunktionen ausgestattet, die eine schnelle Fehlerbehebung und Minimierung von Ausfallzeiten ermöglichen. Hinsichtlich der Leistung bietet PVA TEPLA 300 einen hohen Durchsatz und eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit. Das System ist in der Lage, mehrere Proben gleichzeitig zu verarbeiten, was die Produktivität für Anwendungen in Großserien erhöht. Das Gerät verfügt auch über erweiterte Endpunkterkennungsfunktionen, die eine präzise Kontrolle des Ätzprozesses und die Gewährleistung einheitlicher Ergebnisse in einer Charge von Proben ermöglichen. Insgesamt ist 300 eine vielseitige und zuverlässige Plasmaascher-/Ätzmaschine, die sich für eine breite Palette fortschrittlicher Technologieanwendungen eignet. Mit seinen fortschrittlichen Prozesssteuerungsfunktionen, Hochleistungs- und Sicherheitsfunktionen bietet das Tool eine leistungsstarke Lösung für Präzisionsreinigung, Oberflächenmodifizierung und Ätzprozesse in Branchen wie Halbleiterherstellung, MEMS-Fertigung und Forschung und Entwicklung.
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