Gebraucht PVA TEPLA / METROLINE 400 #9266257 zu verkaufen

PVA TEPLA/METROLINE 400 ist eine Ätz-/Aschemaschine zum präzisen Ätzen und Aschen von Substraten für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dieses System nutzt eine patentierte, bewährte Plasmaerzeugungstechnologie, um elektrische Energie in eine gasförmige Entladung zu übertragen und ein einheitliches, homogenes Plasma zu erzeugen, das ideale Ätz- und Aschebedingungen schafft. Das Gerät verfügt über ein motorisiertes Spannfutter für sichere Substratübertragung, automatische Steuerung von Parametern für konsistente Ätzprofile, hocheffiziente Abgasfiltration und starre Konstruktion für genaue Ätzgleichmäßigkeit. Die Maschine ist mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie Verriegelungsschutz, Inertgasdurchsatzüberwachung und Übertemperaturschutz ausgelegt. Der Ätzer/Ascher hat eine große Ätzkammer, die ein gleichmäßiges Ätzen über die gesamte Substratebene gewährleistet. Ein integriertes Vakuumgebläse hält eine konstante Atmosphäre innerhalb der Kammer. Ein schnell wirkender, präziser Massendurchflussregler regelt das Verhältnis der zum Ätzen und Aschen verwendeten Gase. Eine horizontale elliptische Antenne erzeugt ein niederfrequentes HF-Plasma, wodurch ein gleichmäßiges Ätzprofil mit niedrigen Niveaus der HF-Energie-Oberflächeninteraktion erzeugt wird. Das Werkzeug ist auch kompatibel mit einer Vielzahl von Gasen wie O2, CF4, CHF3, HBr, NH4F und NF3. Es verfügt auch über eine Temperaturregelanlage, die maximale Temperaturen bis zu 240 ° C erreichen kann, und enthält ein Präzisionsthermoelement und eine Heizung zur genauen Temperaturregelung. PVA TEPLA 400 verfügt zudem über einen integrierten Substratkühlmechanismus, der eine schnelle Abkühlung von Ätz- und Ascheteilen nach dem Ätzen und Aschen gewährleistet. Neben den Ätzfunktionen des Modells umfasst die Ausrüstung auch ein Softwarepaket, das es dem Benutzer ermöglicht, alle Systemparameter zu überwachen und zu steuern, sowie eine Standardverbindung mit der proprietären Dataway-Prozessverwaltungseinheit von PVA. Diese Funktionen ermöglichen die vollständige Protokollierung und Kontrolle von Ätz- und Ascheprozessen, wodurch der Benutzer die vollständige Kontrolle über seinen Prozess erhält. Diese Maschine eignet sich für den Einsatz in Fertigungsumgebungen, die präzises, ertragsstarkes Ätzen und Aschen erfordern.