Gebraucht PVA TEPLA / TECHNICS 300-E #9049959 zu verkaufen
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ID: 9049959
Plasma cleaning unit
Applications:
Photoresist stripping
Mask etching
Surface cleaning
Etching of class and ceramics
Etching of SiO2
Si3N4
Si
Removal of Polyimid and
Passivation layer process chamber
Quartz with Kapton cover
(3) Separate gas channels
Maximum rate per channel: 500 sccm
Working pressure: 0.5-1.5 mbar
250 V, 15 A.
PVA TEPLA/TECHNICS 300-E ist ein Ätzer/Ascher, der für verschiedene Oberflächenveredelungsoperationen verwendet wird. Dieser Ätzer/Ascher hat eine Vielzahl von Funktionen und Anwendungen. TECHNICS 300-E nutzt einen widerstandsfähigen Heizprozess, um schnell Ätz- und Ascheflächen. Es ist in der Lage, Teile einem Temperaturbereich von bis zu 250 ° C, einem Temperaturregelungsbereich von bis zu ± 1 ° C und einem Zeitregelungsbereich von bis zu 30 Sekunden zu unterwerfen. Die Temperaturregelungsgenauigkeit beträgt ± 2 ° C und ist in Schritten von 0,1 ° C einstellbar. Dieser Ätzer/Ascher ist für die Einzonen-Thermobearbeitung konzipiert und in der Lage, sowohl in vertikalen als auch in horizontalen Modi zu arbeiten. Es verfügt außerdem über ein Vakuumtankdesign, das eine präzise Prozesswiederholbarkeit für genauere und konsistentere Ergebnisse ermöglicht. Dieser Ätzer/Ascher ist mit einem automatischen Sicherheitssystem ausgestattet, das aus einem IC-Temperaturregler und einer Erdfehlereinrichtung sowie einem Not-Aus-Schalter besteht. Das eingebaute Kühlsystem sorgt dafür, dass es die Betriebstemperaturgrenze nicht überschreitet und somit die Proben schützt. PVA TEPLA 300E bietet verschiedene Ätz- und Aschekonfigurationen wie Single-Wafer, Batch und Semi-Batch. Es hat eine Prozesskammergröße von 200 mm (Breite) x 300 mm (Länge) x 250 mm (Tiefe) mit SiC-Heizelementen zur gleichmäßigen Erwärmung von Proben. Es ist auch in der Lage, 14-Zoll-Wafer-Verarbeitung. Insgesamt ist 300-E ein Ätzer/Ascher, der für effiziente und präzise Oberflächenveredelungen ausgelegt ist. Es ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, einschließlich einer Prozesskammergröße, Temperaturregelung, einstellbare Zeitsteuerung, Not-Aus-Schalter und IC-Temperaturregelung. Es umfasst auch verschiedene Ätz- und Ashing-Konfigurationen, um den spezifischen Bedürfnissen der Betreiber gerecht zu werden.
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