Gebraucht PVA TEPLA / TECHNICS 300 TL1000 #9247548 zu verkaufen

PVA TEPLA/TECHNICS 300 TL1000 Asher ist ein Hochleistungsätzer für den industriellen Einsatz. Es ist eine gasgesteuerte, einzelne Wafer- und Chargenverarbeitungsanlage, die für alle Halbleiteranwendungen geeignet ist. Die Asche verwendet eine Kombination aus chemischen und physikalischen Prozessen, um Muster und Strukturen in einer Vielzahl von Substraten zu ätzen. Als Gas wird eine Kombination aus Sauerstoff und einem flüchtigen organischen Dampf verwendet, der mit inertem Stickstoffgas vermischt wird. Der Kammerdruck wird auf einem konstanten Niveau gehalten, um wiederholbare und genaue Prozessergebnisse zu gewährleisten. TECHNICS 300 TL1000 Asher ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, um gleichbleibende Qualität und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Es ist in der Lage, Ätz- oder Ätzsputterraten von über 100 nm/min bei einem maximalen Durchsatz von 30 Wafern pro Stunde zu erzeugen. Darüber hinaus ist der Ascher in der Lage, Substrate verschiedener Größen, Formen und Typen zu handhaben. Die Benutzeroberfläche bietet einen übersichtlichen Überblick über die Status- und Parametereinstellungen sowie eine umfassende Echtzeit-Prozessüberwachung. Das Gasversorgungssystem von PVA TEPLA 300 TL1000 Asher wurde entwickelt, um eine stabile und wiederholbare Dosierungsrate für die Gase bereitzustellen. Alle Gase werden in Kammern gespeichert, in denen die Gaskonzentration und die Strömungsgeschwindigkeiten genau geregelt werden. Eine gleichmäßige Verteilung des Gasgemisches wird über mehrere Gaseinlässe aufrechterhalten, um gleichmäßige Ätz- oder Zerstäubungsgeschwindigkeiten über das gesamte Substrat zu gewährleisten. 300 TL1000 Asher ist mit einer Reihe von Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um Personal und Ausrüstung zu schützen. Die Einheit weist eine Türverriegelung auf, die den Zugang zur Kammer beim Betrieb der Maschine verhindert. Ein fortgeschrittenes Brandschutzwerkzeug sorgt dafür, dass Gefahrensituationen verhindert werden. Zusätzlich ist die gesamte Anlage auf CE-Sicherheitskonformität getestet und zertifiziert. PVA TEPLA/TECHNICS 300 TL1000 Asher ist auch mit einer Vielzahl von Prozesssteuerungsoptionen ausgestattet, um einheitliche Ätz- oder Sputterraten bei minimaler Variation zu gewährleisten. Temperatur, Druck und andere Größen können mit einer ultrapräzisen Rückkopplungsschleife überwacht und gesteuert werden. Das Heizmodell soll verhindern, dass die Kammerwände zu heiß werden, die Reaktionszeit verkürzt und einheitliche Prozessergebnisse gewährleistet. Abschließend ist TECHNICS 300 TL1000 Asher ein zuverlässiger und effizienter Ätzer/Ascher, der für anspruchsvollste Halbleiteranwendungen geeignet ist. Die hohe Durchsatzrate und die benutzerfreundliche Schnittstelle ermöglichen konsistente und wiederholbare Prozessergebnisse. Es ist mit umfassenden Sicherheitsmerkmalen und Prozesskontrolloptionen ausgestattet, um Sicherheit und Genauigkeit zu gewährleisten.