Gebraucht PVA TEPLA / TECHNICS Gigabatch 300 #9358976 zu verkaufen

PVA TEPLA / TECHNICS Gigabatch 300
ID: 9358976
Plasma asher Gas module chamber: O2.
PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 300 ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der für Hochvolumen-Ätz- und Ascheanwendungen entwickelt wurde. Die Ausrüstung nutzt bewährte Kerntechnologien, um ein hohes Maß an Ätz- und Ascheeffizienz und Produktqualität zu bieten. TECHNICS Gigabatch 300 basiert auf einer zuverlässigen und präzisen mikroprozessorgesteuerten vertikalen Struktur mit einer großen offenen Kammer zur Aufnahme unterschiedlichster Wafer und Substrate. Der Ätzer/Ascher verfügt über eine intuitive Touchscreen Mensch-Maschine-Schnittstelle (HMI) zur Einstellung von Prozessparametern. Der Anwender kann den Ätzer/Ascher ohne Vorkenntnisse oder Fachwissen schnell und bequem steuern. PVA TEPLA Gigabatch 300 bietet eine Fülle von Funktionen, um die Effektivität des Ätz- und Ascheprozesses zu verbessern. Es beinhaltet ein modernes Roboterstapelsystem zum schnellen und sicheren Be- und Entladen von Wafern und Substraten. Der Ätzer/Ascher ist mit einem Prozesstemperaturbereich von 300 ° F bis 900 ° F ausgestattet, der in Schritten von 5 ° F einstellbar ist, um die Präzision in Prozessen besser zu kontrollieren. Ein in situ Quarzkristallspektrometer zur Echtzeitüberwachung des Prozesses ist ebenfalls enthalten. Gigabatch 300 verfügt über eine hocheffiziente Gasfördereinheit, mit der der Benutzer ein ideales Gasgemisch für seinen Prozess auswählen kann. Ausgewählte Gase werden in einem gemeinsamen Gaskasten gespeichert, was eine genaue Gaszufuhr in die Ladekammer ermöglicht. Darüber hinaus ist die Maschine für wartungsarme und einfache Wartungsvorgänge ausgelegt. PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 300 verfügt zudem über ein dichtes, hocheffizientes Ladeblockwerkzeug, um eine saubere Reaktion in der Prozesskammer zu gewährleisten. Die Anlage weist außerdem ein Dampfrezirkulationsmodell zur Aufrechterhaltung der Temperaturprofile innerhalb der Reaktionskammer auf. Dadurch wird eine schnelle Abkühlung der Wafer gewährleistet, wodurch die Prozesskosten reduziert werden. TECHNICS Gigabatch 300 wurde entwickelt, um eine hervorragende Wiederholbarkeit von Ätz- oder Ascheprozessen zu bieten und eignet sich perfekt für Kunden, die ein hochvolumiges Ätzen und Aschen zu einem kostengünstigen Preis suchen. Der PVA TEPLA Gigabatch 300 ist mit seinen zahlreichen Funktionen eine ausgezeichnete Wahl für das Ätzen und Aschen in einer Vielzahl von industriellen und akademischen Umgebungen.
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