Gebraucht PVA TEPLA / TECHNICS IoN 100/40Q #293731588 zu verkaufen
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ID: 293731588
Wafergröße: 4"-6"
System, 4"-6"
Type: RF
Batch tool
Gas: O2/N2
XDS35 Pump.
TECHNICS IoN 100/40Q ist eine anspruchsvolle Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die eine präzise und gleichmäßige Plasmabearbeitung verschiedener Materialien in der Halbleiter-, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) - und Optikindustrie ermöglicht. Dieses hochmoderne System bietet fortschrittliche Fähigkeiten für Ätz-, Reinigungs- und Oberflächenmodifizierungsanwendungen und ist somit ein wesentliches Werkzeug für Forschungs- und Entwicklungslabore und Produktionsstätten. Herzstück von PVA TEPLA IoN 100/40Q ist die Hochleistungs-Plasmaquelle, die eine hochreaktive Plasmaumgebung erzeugt, die für eine breite Palette von Prozesschemien geeignet ist. Das Gerät verfügt über ein robustes HF-Netzteil, das präzise Leistungsstufen an die Plasmaquelle liefern kann, um konsistente und reproduzierbare Verarbeitungsergebnisse zu gewährleisten. Mit seiner fortschrittlichen Gasdurchflusssteuerungsmaschine kann das IoN- 100/40Q eine präzise Kontrolle über die Zusammensetzung und die Durchflussraten von Prozessgasen erreichen, sodass Benutzer die Plasmachemie auf spezifische Verarbeitungsanforderungen abstimmen können. PVA TEPLA/TECHNICS IoN 100/40Q ist mit einer hochmodernen Prozesskammer ausgestattet, die eine hervorragende Prozessgleichförmigkeit über die gesamte Substratoberfläche gewährleistet. Die Kammer verfügt über eine hochreine Quarzkonstruktion, die mit einer Vielzahl von Prozessgasen und Chemikalien kompatibel ist. Die Kammer ist auch mit Präzisionstemperaturregelungssystemen ausgestattet, um eine stabile Prozessumgebung zu erhalten und konsistente Ergebnisse von Lauf zu Lauf zu gewährleisten. Eines der Hauptmerkmale von TECHNICS IoN 100/40Q sind seine erweiterten Automatisierungsfunktionen, die die Prozessentwicklungs- und Produktionsabläufe optimieren. Das Tool ist mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche ausgestattet, die es dem Bediener ermöglicht, Rezepte mit Leichtigkeit einzustellen und zu überwachen. Die Automatisierungsfunktionen umfassen Rezept-Management, Echtzeit-Prozessüberwachung und Datenprotokollierungsfunktionen, sodass Benutzer Prozessparameter optimieren und die Prozessleistung im Laufe der Zeit verfolgen können. PVA TEPLA IoN 100/40Q bietet eine breite Palette von Verarbeitungsmodi für unterschiedliche Anwendungen und Materialien. Das Asset kann sowohl Ätz- als auch Ascherprozesse durchführen und ist damit ein vielseitiges Werkzeug für eine Vielzahl von Oberflächenmodifizierungsaufgaben. Ob Anwender präzise Muster auf Halbleiterscheiben ätzen oder Oberflächen für Bonding-Anwendungen reinigen und aktivieren müssen, das IoN- 100/40Q kann die erforderliche Leistung mit außergewöhnlicher Präzision und Steuerung liefern. Abschließend ist PVA TEPLA/TECHNICS IoN 100/40Q ein Spitzenmodell, das modernste Technologie mit fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen kombiniert, um eine präzise und einheitliche Plasmabearbeitung für eine Vielzahl von Anwendungen zu ermöglichen. Das IoN 100/40Q ist mit seiner Hochleistungs-Plasmaquelle, fortschrittlichen Gasdurchflussregelgeräten und der hochmodernen Prozesskammer ein unverzichtbares Werkzeug für Forscher und Ingenieure, die die Grenzen der Plasmabearbeitungstechnologie erweitern wollen. Ob in einem Forschungslabor oder einer Produktionsumgebung, TECHNICS IoN 100/40Q zeichnet sich als zuverlässige und effiziente Lösung für anspruchsvolle Plasmabearbeitungsanwendungen aus.
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