Gebraucht PVA TEPLA / TECHNICS PlasmaPen #9056655 zu verkaufen
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PVA TEPLA/TECHNICS PlasmaPen ist eine elektrochemische Ätz- und Ascheausrüstung, die eine hohe Genauigkeit und Präzision bei der Herstellung und Ätzung von Mikrokomponenten liefert. Es bietet eine automatisierte Lösung für die Klein- bis Großserienfertigung und kann für eine Vielzahl von Prozessen wie Planarisieren, Ätzen, Reinigen und Sputtern eingesetzt werden. Das System besteht aus einer Vakuumkammer, einer Steuereinheit, einer Stromversorgung und einer Ätz-/Abscheideelektrode. Die Vakuumkammer besteht aus einer Hochvakuumkammer und einer Abgaskammer. Der Hochvakuumraum ist von der Abgaskammer durch einen Hitzeschild getrennt, der einen Wärmeübergang vom Abgas in die Ätz-/Zerstäubungskammer unter Beibehaltung der gesamten Kammerintegrität verhindert. Die Kammer wird dann mit einem Edelgas wie Argon, Xenon oder Helium gefüllt, um eine ausreichende Druck- und Temperaturstabilität zu gewährleisten. Der Ansatz dieser Einheit besteht darin, dass Druck und Temperatur genau gemessen werden können, um die Ätz- und Sputtergenauigkeit zu maximieren. Die Steuerung dient zur präzisen Steuerung der verschiedenen Komponenten der Maschine. Dazu gehören die Stromversorgung, Kammerdrücke, Gaszusammensetzung sowie die Abscheide- und Ätzparameter. Darüber hinaus kann es den Ätzprozess überwachen und analysieren, so dass das Werkzeug auf optimale Leistung eingestellt werden kann. Die Stromversorgung kann so eingestellt und konfiguriert werden, dass unterschiedliche Spannungen an das Substrat zum Ätzen und Abscheiden angelegt werden. Dies ist wesentlich, da die Spannungen für die Steuerung der Ätz- und Abscheideraten verantwortlich sind. Zur Abscheidung des gewünschten Materials wird ein elektrochemisches Verfahren verwendet, das dann den Ätzprozeß einleitet. Aus diesem Grund ist die Stromversorgung in dieser Anlage so wichtig, da sie zur Einstellung der Spannungen verwendet werden kann, um die Rate, mit der das Material abgeschieden und geätzt wird, genau zu steuern. Die Ätzung/Abscheidung erfolgt durch eine Elektrode, die nach den genauen Vorgaben des Kunden bearbeitet wird. Dies ermöglicht es, die genauesten Ätz-/Abscheideraten und Genauigkeit zu erreichen. Der Ätz-/Abscheidevorgang ist durch die von der Steuereinheit konfigurierte Kombination aus präziser Materialauswahl und -abscheidung, Wärme-/Druckregelung und leistungsschwachen Optionen sehr zuverlässig und präzise. Die Genauigkeit und Präzision dieses Modells machen es zu einer idealen Wahl für kleine bis große Serien. TECHNICS PlasmaPen ist eine leistungsstarke Ätz- und Ascheausrüstung, die für die Herstellung von hochpräzisen Mikrokomponenten entwickelt wurde. Sein umfassender Ansatz in Bezug auf Druck- und Temperaturregelung, automatisierte Stromversorgung und präzise bearbeitete Elektrode macht es zu einer idealen Wahl für die genaue Abscheidung und Ätzung von empfindlichen Komponenten.
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